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海德創業(北京)生物科技有限公司

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掃描電鏡線寬標樣

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  • 海德創業(北京)生物科技有限公司
  • 2017-04-07 11:44:53
  • 北京市
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【簡單介紹】

掃描電鏡線寬標樣,掃描電鏡測長物質常見的有兩種,一種線寬標準物質,一種粒度標準物質。線寬標準物質以單晶硅為基底,表面刻制金屬膜(鎢或者鈦)。

【詳細說明】

掃描電鏡線寬標樣

    掃描電鏡測長物質常見的有兩種,一種掃描電鏡線寬標準物質,一種掃描電鏡粒度標準物質。線寬標準物質以單晶硅為基底,表面刻制金屬膜(鎢或者鈦)。周期性的線寬標準物質主要用于校準掃描電鏡放大倍率和進行長度的比對。

  • 安裝在樣品臺上,快速核對空間尺寸
  • 定期進行顯微鏡的刻度和性能檢查
  • *時間獲得高放大倍率和sub-micron-scale
  • 精確獲得從0.3um到30um的尺寸,僅用一個刻度參照物
  • 分析變形失真原因

掃描電鏡線寬標樣基本參數:

 

301CE & 701CE

302CE & 702CE

301BE**

Substrate

Silicon Wafer

Silicon Wafer

Silicon Wafer

Top Surface

60 nm Tungsten film

60 nm Tungsten film

Ti pattern on Si

Physical Size

3mm x 4mm x 0.5mm

3mm x 4mm x 0.5mm

3mm x 4mm x 0.5mm

Accuracy

± 3%

± 3%

± 1%

Nominal Dimensions

(x)

(x, y)

(x)

300 nm for 301CE

300 nm for 302CE

300 nm for 301BE

700 nm for 701CE

700 nm for 702CE

 

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產品名稱

產品規格

80110-31

MODEL 301CE SUBMICRON STANDARD UNMOUNTED

80110-31M

MODEL 301CE SUBMICRON STANDARD - MOUNTED

80110-31-PIN

MODEL 301CE WITH PIN

80110-32

MODEL 302CE SUBMICRON STANDARD-UNMOUNTED

80110-32M

MODEL 302CE SUBMICRON STANDARD - MOUNTED

80110-32-PIN

MODEL 302CE WITH PIN

80110-71

MODEL 701CE  SUBMICRON  STANDARD, UNMOUNTED

80110-71M

MODEL 701 CE SUBMICRON STANDARD-MOUNTED

80110-71-PIN

MODEL 701CE WITH PIN

80110-72

MODEL 702CE SUBMICRON STANDARD,UNMOUNTED

80110-72M

MODEL 702CE SUBMICRON STANDARD-MOUNTED

80110-72-PIN

MODEL 702CE WITH PIN

80111-31

MODEL 301BE SUBMICRON STANDARD-UNMOUNTED

80111-31M

MODEL 301BE SUBMICRON STANDARD - MOUNTED

80111-31-PIN

MODEL 301BE WITH PIN

    
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