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邁可諾技術有限公司

主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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公司信息

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UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對準系統(tǒng)
UV-LED 的緊湊型掩膜對準系統(tǒng)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 UV-KUB 3
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 武漢市

更新時間:2024-05-17 12:32:21瀏覽次數(shù):1342

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【簡單介紹】
產(chǎn)地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子
UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準直光束,因此可實現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。
【詳細說明】

u非常緊湊實用的系統(tǒng)

u 365nm 處*單色曝光

u可處理 4 英寸晶圓

u硬(物理)接觸或軟(接近)接觸模式

u兼容所有光刻膠

u分辨率:2µm

u對準分辨率:< 3µm

u PAD 引導

 

UV-KUB 3 是一種基于掩對準系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm2 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準直光束,因此可實現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µmUV-KUB 3 系統(tǒng)兼容硬(物理)接觸或軟(接近)接觸模式,并提供低至 3 µm 的對準分辨率。 該掩對準器系統(tǒng)支持所有標準光刻膠,例如 AZShipleySU-8 K-CL

對準器UV-KUB 3是第一款配備UV-LED光源的掩對準系統(tǒng),可在國際市場上提供一個好的的準直和均勻曝光。這款新一代掩對準器*由觸摸屏操作進行曝光,通過操縱板控制進行對準操作。由于其防塵罩,該設備*安全,是市場上wei 一使精密光刻而無需潔凈室類型環(huán)境的解決方案。

 

技術突破:

1、高質(zhì)量準直器

· 發(fā)散角小于2°,保證了在厚層上實現(xiàn)分辨率低至 1µm和邊緣垂直度極 jia的圖案。

· 這種高質(zhì)量的準直允許在不需要真空接觸模式的情況下達到微米級的分辨率。

2LED技術

·完 mei的單色曝光光源

·冷紫外線源,防止不良熱效應

·可以在連續(xù)或脈沖模式下運行

·壽命長:uv-led光源不屬于消耗品

3分辨率和對準精度

·這種新一代掩模對準器能夠在整4"6"工作表面上實現(xiàn)低于1µm的微結(jié)構(gòu)對準精度小1 µm

 

特征:

? 晶圓表面區(qū)域的完 mei單色曝光,帶寬低于 10 nm

? PAD 引導的視頻輔助定位系統(tǒng)

? 冷紫外線照射和基板環(huán)境的實時原位溫度控制,在整個表面上的均勻照射,因此消除了任何不良的熱效應

? 強大的功率密度

? LED 壽命長:受控實時使用時間超過 10 000 小時

? 用戶友好型觸摸屏界面,可設置曝光循環(huán)編程(連續(xù)或循環(huán)曝光)

? 無需預熱時間

? 紫外線源強度調(diào)節(jié)的計算機控制,很直觀

? 紫外線照射室*密封:保證用戶安全

? 自動晶圓裝載和卸載系統(tǒng)

? 低消耗

 

工藝應用:

UV-KUB 3 系統(tǒng)非常適合實驗室和研發(fā)團隊的廣泛應用,這些應用涉及光學、生物技術、微電子、需要多層掩膜、晶圓鍵合、簡單層或粘合劑固化、連接、組裝和生物或細胞培養(yǎng)的光刻工藝

 

技術參數(shù):

分辨率

1µm

對準精度

1µm

發(fā)散角

< 2°

可編程周期數(shù)

100

曝光周期(連續(xù)或循環(huán))

1 秒到1小時

接觸模式

硬(物理)接觸或軟(接近)接觸模式

可視化系統(tǒng)分辨率

1,5µm

θ襯底位移分辨率

5.10-4°

XYZ襯底位移分辨率

0,4µm

 

UV-LED光源:

波長

365 nm ± 5 nm

均勻曝光

+/-5%

LED的壽命

>10000小時

 

工作處理表面:

處理表面

4" 6" 晶圓

可接受的掩膜版尺寸

4" 6" 版本分別高達 ? 5" ? 7"

可接受的基材尺寸

? 2" - ? 4" - ? 6" 50 x 50mm - 100 x 100mm

/基板測量距離分辨率

0,5µm

曝光期間的基板預熱

< 1°C

兼容光刻膠

SU8ShipleyAZ ResistK-CL 抗蝕劑

 

其他參數(shù):

·尺寸475(L)x 480(W)x 515(H)毫米

·重量55千克/121

·彩色觸摸屏:15.6英寸

·功率密度:35 mW/cm2+/-10%

·電源:100 v/240 V-50 Hz/60 Hz

·功率180 W

·可與鍍鉻和柔性薄膜掩膜版兼容

 

 




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