美國Aalborg高精度質量流量計

設計特點
－剛性金屬結構
－流量控制范圍從0 開始到10 sccm 直到0到100 slpm
－zui大壓力500 psig （34.5 Bar）
－0-5伏和4-20mA信號
－泄漏率低于1 x 10-9 smL/sec 的 helium
－精度±1%
－電路保護
－計算匯總功能

主要技術參數

精度：1％FS

重復性: ±0.2% 全量程；

響應時間: 1到2 秒（ 流量不同略有差別）

溫度系數: 0.1% /FC

壓力系數: 0.01% 全量程/ 0.07 bar （1 psi）；

可選氣壓:1.73 bars （25 psig）.

zui大氣壓: 70 bars （1000 psia）.

氣體和環境溫度: 5C to 50C （41F to 122F）.

信號輸出: Linear 0-5 Vdc （3000 歐姆 低阻抗負載）; 4-20 mA 供選 （500 歐姆環阻）.zui大噪音 20mV 峰對峰.

輸入電源: zui大15Vdc, 450 mA;

材質：316不銹鋼，416不銹鋼, Viton7 O形圈；Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.