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產品特點：
● 快速響應設定壓力值
● 控制器的zui小全量程可低至10Torr
● 將電容薄膜規、正常關閉的比例控制閥和閉環控制的電路系統集成于一個精巧的儀器里
● 內部壓力薄膜規提供了精確、可靠和很寬的量程
● 可以用于上游或下游壓力控制的應用
● 金屬密封和彈性密封可選
● 2個壓力設定用于工藝控制
● 符合歐洲CE認證標志
技術參數：
壓力量程范圍： 10，100，1000 Torr，60 Psi，100 Psi
流量量程范圍： 50,200,1000,2000,5000，10000，20000，50000Sccm
zui大過壓限制： 45 Psia 或2倍于全量程
zui大差壓壓力限制：150 Psi 用于 50 到10000Sccm
30 Psi 用于 20000 Sccm 到 50000 Sccm
控制方式： 下游控制（標準），上游控制（可選）
孔徑zui大量程：50，200，1000，5000 Sccm
zui大壓力差：150 Psi
控制方式：下游控制
壓力測量精度：讀數值的±0.5%（包括線性誤差，滯后誤差和重復性誤差）
響應時間：小于100毫秒
壓力控制：1）量程：全量程的2% 到 *
2）精度：全量程的±0.2%
3）響應時間：小于1秒（到達壓力設定值）
電源要求：±15VDC（±5%）,200 mA
模擬輸出：壓力：0-10 VDC,線性輸出（0-5 VDC可選）
電氣通訊方式：模擬15針“D”型
電纜長度：小于30米
材質：316L不銹鋼
泄露率：小于1*10ˉ9 scc/sec He
接頭法蘭：4 VCR Male，1/4”卡套，8 VCR Male
電氣認證：符合歐洲CE認證