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為了在有限的空間條件下實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的軟抽真空，我們推薦使用 HPS 的 LoPro 雙級(jí)閥門，它將一個(gè)低高度的隔離閥和一個(gè)小的旁通閥相集成，極大地簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的安裝并降低了成本。

LoPro 雙級(jí)閥門

為了在有限的空間條件下實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的軟抽真空，我們推薦使用 HPS 的 LoPro 雙級(jí)閥門，它將一個(gè)低高度的隔離閥和一個(gè)小的旁通閥相集成，極大地簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的安裝并降低了成本。

LoPro雙級(jí)閥特別適合在高真空中應(yīng)用，尤其是應(yīng)用在需要潔凈環(huán)境的半導(dǎo)體或光學(xué)加工工藝中。該閥門具有慢速抽空的特點(diǎn),減小了湍流，從而防止了沾污的產(chǎn)生和對(duì)產(chǎn)品的破壞。本頁(yè)列出的該系列閥門有ISO-KF NW 25法蘭、0.225 英寸旁通閥口徑和Viton密封等類型，也可選擇其它配置，請(qǐng)客戶服務(wù)部門以獲取更多的信息。需要更大尺寸的閥門,可參閱 NW40 或 NW50 LoPro 軟啟動(dòng)雙級(jí)閥或其他MKS的雙級(jí)閥門.
注:訂購(gòu)時(shí),請(qǐng)?jiān)谟嗀泦蔚淖⑨尣糠謱懨魉璧臍鈩?dòng)電磁閥電壓（ 24 VDC, 24 VDC, 120 VDC, 208 VDC, 220 VDC）
零件編號(hào) 示例：LPV2-25-AK-225-CLVNH-120

LoPro NW 25 雙級(jí)閥門

閥體配置	旁通閥孔徑	調(diào)節(jié)器類型（旁通閥）	限位開關(guān)（主閥）	密封類型	溫度配置	控制端口選擇
LPV2-XX-XX	XXX	X	X	X	XX	XXX
零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)
LPV2-25-AK	225	C	L	V	NH	24A
KF 25 角閥	0.225"	常閉	有限位開關(guān)	Viton®	常態(tài)	24 Volts AC
LPV2-25-IK		V	N	Z		24D
KF 25 直閥		翼形螺栓	無(wú)限位開關(guān)	Chemraz®		24 Volts DC
LPV2-25-AC		M				120
CF 2 1/8" 角閥		測(cè)微計(jì)頭				100/120 Volts AC （50/60 Hz）
LPV2-25-IC						208
CF 2 1/8" 直閥						208 Volts AC
LPV2-25-AT						240
1" 管道角閥						240 Volts AC
LPV2-25-IT						None
1" 管道直閥						主閥: 1/8" NPT-F
						旁通閥: 10/32 UNF-F

LoPro 雙級(jí)閥門（續(xù)）

LoPro NW 40 雙級(jí)閥門

閥體配置	旁通閥孔徑	調(diào)節(jié)器類型（旁通閥）	限位開關(guān)（主閥）	密封類型	溫度配置	控制端口選擇
LPV2-XX-XX	XXX	X	X	X	XX	XXX
零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)
LPV2-40-AK	225	C	L	V	NH	24A
KF 40 角閥	0.225"	常閉	有限位開關(guān)	Viton®	常態(tài)	24 Volts AC
LPV2-40-IK		V	N	Z		24D
KF 40 直閥		翼形螺栓	無(wú)限位開關(guān)	Chemraz®		24 Volts DC
LPV2-40-AC		M				120
CF 2 3/4" 角閥		測(cè)微計(jì)頭				100/120 Volts AC （50/60 Hz）
LPV2-40-IC						208
CF 2 3/4" 直閥						208 Volts AC
LPV2-40-AT						240
1 1/2" 管道角閥						240 Volts AC
LPV2-40-IT						None
1 1/2" 管道直閥						主閥: 1/8" NPT-F
						旁通閥: 10/32 UNF-F

LoPro NW 50 雙級(jí)閥門

閥體配置	旁通閥孔徑	調(diào)節(jié)器類型（旁通閥）	限位開關(guān)（主閥）	密封類型	溫度配置	控制端口選擇
LPV2-XX-XX	XXX	X	X	X	XX	XXX
零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)	零件編號(hào)
LPV2-50-AK	225	C	L	V	NH	24A
KF 50 角閥	0.225"	常閉	有限位開關(guān)	Viton®	常態(tài)	24 Volts AC
LPV2-50-IK		V	N	Z		24D
KF 50 直閥		翼形螺栓	無(wú)限位開關(guān)	Chemraz®		24 Volts DC
LPV2-50-AC		M				120
CF 3 3/8" 角閥		測(cè)微計(jì)頭				100/120 Volts AC （50/60 Hz）
LPV2-50-IC						208
CF 3 3/8" 直閥						208 Volts AC
LPV2-50-AT						240
2" 管道角閥						240 Volts AC
LPV2-50-IT						None
2" 管道直閥						主閥: 1/8" NPT-F
						旁通閥: 10/32 UNF-F

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