1479A是一種堅固的金屬密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
1479A是一種堅固的金屬密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質量流量控制器，1479A可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使1479能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術參數：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to * 的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質：316 不銹鋼。
質保期：有限保修自售出之日起12個月。
例：型號1479A00411CR1A6MXX 采購序列號
1479A 1479A
校準氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準流量SCCM－sccm（相當氮氣）
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件
標配：（兼容）SwagelokR4VCRR凸接頭 R
選配：（兼容）VCOR管道 G
選配：（兼容）SwagelokR0.25英寸管道 S
C－密封表面貼裝，符合 SEMI 2787.1標準 C
W密封表面貼裝，符合 SEMI 2787.3F標準 H
閥門
常閉 3
型號1479A（續）
采購序列號
連接器
模擬型：
9針D型接口 A
15針D型接口 B
15針邊緣卡接口 C
單元設備15針D型接口 N
數字型：
RS-485 5
DeviceNetTM 6
密封
金屬,Kel-F 閥栓，≦200 sccm；Teflon 閥栓，≧500sccm M
固化軟件版本（僅對DeviceNetTM）
除非特別說明，MKS將發運訂貨時的固化軟件版本 XX
用于1479A的電纜線
CB147-12-10用來將1479 9針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用來將1479 15針D型接口連接至246, 247
CB147-1-10用來將1479 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用來將1479 20針邊緣卡接口連接至246, 247
CB147-7-10用來將1479 20針邊緣卡接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
