1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品，標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to * 的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質：316 不銹鋼。
質保期：有限保修自售出之日起12個月。
例：型號1179A00411CR1A5VXX 采購序列號
校準氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準流量SCCM－zui大20000（相當?shù)獨猓?/span>
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件（與以下兼容）
標配：（兼容）SwagelokR 4VCRR 凸接頭 R
選配：（兼容）SwagelokR 4VCOR 凸接頭 G
選配：（兼容）SwagelokR 0.25英寸管 S
長度適配器 w/ 4 VCR 配件** L
長度適配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W
閥門
常閉 1
型號 1179A（續(xù)）
連接器 采購序列號
模擬型：
9針D型接口 A
15針D型接口 B
20針邊緣卡接口 C
15針D型變換接口（Brooks） E
單元設備15針D型接口 N
Millpore15針D型接口 T
數(shù)字型：
RS-485 5
DeviceNet 6
密封
標配: VitonR V
選配: NeopreneR N
選配: Buna N B
選配: KalrezR K
固化軟件版本（僅對DeviceNetTM）
除非特別說明，MKS將發(fā)運訂貨時的固化軟件版本 XX
用于1179A的電纜線
CB147-12-10用來將1179 9針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用來將1179 15針D型接口連接至246, 247,
CB147-1-10用來將1179 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用來將1179 20針邊緣卡接口連接至246, 247
CB147-7-10用來將1179 20針邊緣卡接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
*其他氣體編號見附錄B
** 1259C-XXXXX-RX的匹配長度
***1259C-XXXXX-SX的匹配長度
