OPG550 光學等離子真空計

INFICON Augent^TM光學等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監測解決方案。AugentTM 將兩種傳感器技術結合到一個緊湊的設備中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監測，并同時測量 1 x ^10-7mbar 到大氣壓的總壓力。Augent^TM由集成的皮拉尼傳感器保護，可關閉 20 mbar 以上的等離子體?？焖俟鈱W測量原理原則上可以檢測任何類型的氣體。

好處

1，高速泄漏檢測允許腔室泄漏測試

2， 提高生產率和產量

3，使用壽命長，無燈絲**，氣涌保護

4，承受工藝化學反應

5，智能算法，易于集成

6，設計緊湊，占地面積小

7，可靠且快速的啟動

典型應用

1，腔室泄漏檢查，更快的RoR（上升速率）測試

2，泄漏檢查以查找供氣管線的內部泄漏

3，實時終點控制

4，氣體類型和濃度控制

OPG550 光學等離子真空計