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杭州太昊科技有限公司
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Transpector® SPS 殘余氣體分析儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌INFICON/美國

廠商性質代理商

所  在  地杭州市

更新時間:2024-01-24 14:23:03瀏覽次數:2571次

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產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 電子,綜合
INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標高壓過程提供上佳半導體晶圓和顯示屏面板保護。憑借適合單壓應用的敏感空氣泄漏和過程污染檢測,Transpector SPS 可大程度減少晶圓和面板報廢。它具有業內比較早的檢測限值和測量速度,確保晶圓和面板產品的質量和數量。Transpector® SPS 殘余氣體分析儀

Transpector® SPS 殘余氣體分析儀



INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標高壓過程提供上佳半導體晶圓和顯示屏面板保護。憑借適合單壓應用的zui敏感空氣泄漏和過程污染檢測,Transpector SPS 可蕞大程度減少晶圓和面板報廢。它具有業內比較的檢測限值和測量速度,確保晶圓和面板產品的質量和數量。Transpector SPS 提供可靠的過程監控,確保實現穩定的高壓過程,進而大程度提高過程能力和產量。該儀器融合了簡單且高成本效益的入口系統與經實踐驗證的離子源和泵組,以提供低風險、多回報的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經過驗證的解決方案,適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應用,且是一般真空和工業應用的理想之選。Transpector SPS 可根據具體應用和預算進行配置和定制。 針對從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過程壓強,均可選用標準孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設計可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過程中的耐受性。


好處

1,得益于單壓取樣入口,很大程度降低晶圓和面板保護的總擁有成本;是擴散、外延和 RTP 等高壓 過程的理想之選

2,提供蕞低漏氣量和污染監測,確保恒定高壓過程

3,通過 強大數據采集與同步實現無縫工廠集成和可靠阻斷

4,通過定制 配方優化增強生產能力

5,通過即時現場專家響應保護關鍵過程需求


典型應用

1,PVD 過程

2,擴散和外延過程

3,蝕刻過程包括:金屬、電介質、硅刻蝕, HDP-etch

4,CVD 過程包括:高 k 電介質、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD

Transpector® SPS 殘余氣體分析儀



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