B-A 型皮拉尼電容膜片真空計   皮拉尼熱電離電容薄膜3合1B-A型真空計

TripleGauge® BCG450

INFICON B – A 型皮拉尼電容薄膜真空計, BCG450, 將三種不同的真空計組合在一個小型, 經濟的真空規管中, 測量過程壓強和基本壓強 5 x 10-10至 1500 毫巴 （3.75 x 10-10 至 1125 乇）. BCG450 用于取代三種傳感器（熱離子, 對流增強型皮拉尼和真空開關）, 從而節省成本和寶貴的工具空間。

優 勢

■ BCG450 節省成本和設備空間, 降低真空測量的安裝與設置的復雜性

■ 10 乇以上的與氣體類型無關的壓強測量, 對許多混合氣體提供更可靠的 自鎖控制

■ 皮拉尼聯鎖保護熱燈絲, 防止過早燒毀

■ 自動的高真空和大氣壓皮拉尼調整, 無需操作人員干預

■ 相對于大氣壓的差壓測量, 免除了與大氣壓變化有關的不穩定性

■ 傳感元件容易更換, 內置校準數據保證數據的再現性

■ 可選圖形顯示器和 Fieldbus 接口

用 途

■ 半導體工藝, 傳送和自鎖室的壓強測量

■ 工業鍍膜

■ 低至高真空范圍中系統的一般真空測量和控制

皮拉尼熱電離電容薄膜3合1B-A型真空計