SKY® 電 容 膜 片 真 空 計

加熱型電容薄膜規，高精度真空計

CDG100D

INFICON SKY CDG100D 真空計是高精度總壓強測量和控制的

上佳選擇. 為達到優異的半導體和等離子過程要求的性能, 將 CDG100D 真空計的溫度控制于100°C. 全量程范圍從100 毫乇 至 1000 乇, 配有全部常用的法蘭型式和 fieldbus 接口, 和提供線性的 0 至 10 伏與氣體類型無關的壓強訊號. INFICON 電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好, 從大氣壓恢復速度快, 預熱時間短和超長的使用壽命. INFICON CDG 是高質量, 成本效益好的壓強傳感器, 用于半導體, 等離子和各項要求高的真空應用中。

加熱型電容薄膜規，高精度真空計優點

■ 低 CoO （擁有成本）, 50% 快速預熱, 能效高, 功耗低

■ 易整合于系統中, 寬量程范圍, 法蘭和接口, 標準型號帶有兩個設點

■ 簡易的一鍵操作或遙控訊號調零指令, 零點偏離可調

■ 診斷端口用于快速檢修和維護

■ 兩年保用期, 采用*的加熱概念和傳感器保護, 真空計使用壽命長

■ 由于超卓的訊號穩定性和可重復性, 即使在嚴酷的等離子應用條件下仍可長期使用,無需重新校準

■ 承諾和標準: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途

■ 刻蝕, PVD, CVD和其它半導體生產過程

■ 化學和腐蝕性高溫過程

■ 需要真空計保護的常用薄膜和真空過程