其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統俗稱光學尺，其光源經過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經放大及修正后即可顯示出來，其系統及輸出信號情形。
操作：

1、量測前準備：

（a）檢查空氣軸承壓力是否足夠
（b）安裝工件

2、測頭選擇及安裝：

（a）將適當之測頭裝于Z軸承接器
（b）檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）
（c）鎖定各軸之適當位置

3、量測操作：

（a）開啟處理機電源
（b）啟開打印機開關
（c）參考操作手冊，選擇所需功能之指令
（d）進行量測，并讀出量測值

4、完成后注意事項：

（a）Z軸移至原來位置后，鎖定
（b）X,Y軸各移至*，鎖定
（c）關電源及壓力閥
（d）取下測頭
（e）并作適當的保養