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XRF-2000
閱讀：525 發布時間：2017-4-6
熒光X-射線儀器的測量原理
物質經X射線或粒子射線照射后，由于吸收多余的能量而變成不穩定的狀態。從不穩定狀態要回到穩定狀態，此物質必需將多余的能量釋放出來，而此時是以熒光或光的形態被釋放出來。熒光X射線鍍層厚度測量儀或成分分析儀的原理就是測量這被釋放出來的熒光的能量及強度，來進行定性和定量分析。
鍍層厚度的測量方法可分為標準曲線法和FP法（理論演算方法）
底材的熒光X射線
2種。標準曲線法是測量已知厚度或組成的標準樣品，根據熒光
X射線的能量和強度及相應鍍層厚度的對應關系，來得到標準曲線。
之后以此標準曲線來測量未知樣品，以得到鍍層厚度或組成比率。
FP法即是Fundamental Parameter Method的簡稱,即基本參數法