產品展示
GLD-051直聯型油旋片式真空泵
【簡單介紹】
【詳細說明】
特性
ULVAC機工的GLD系列,具有低振動,低噪音及以下優良性能:
1.氣鎮閥能防止蒸汽(例如水蒸汽)凝縮在泵油內。
2.強制給油機構能保證從大氣到高真空的整個排氣過程中,保持油潤滑和內部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時能保護真空箱。低溫確保了真空泵創造良好的真空度。強制的油過濾器可濾出泵油的雜質,通過大型刻度易讀的油量計,可以隨時檢查泵油的狀況。
使用指導
為了zui大限度的發揮真空泵的*性能,應注意以下幾點:
1.GLD系列可適用于廣泛領域,能獲得極低的真空(10-2Pa),配置KF法蘭可獲得高真空。為發揮zui大性能請使用高真空法蘭。
2.GLD系列并不適用于有毒或腐蝕性氣體。(請選擇GCD系列:p.10)
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.科學與化學試驗,分析裝置,鐳射相關裝置。
2.電子顯微鏡的前級泵系統。
3.半導體生產系統,濺射系統,真空涂層系統。
4.真空干燥系統,冷凍干燥系統。
型 號 | 實際排氣速度(L/min.) | 極限壓力 (Pa) | 吸氣管徑 (mm) | 重量 (kg) | 外形尺寸 W×L×H(mm) | 電機 | |
功率(W) | 可選電壓(V) | ||||||
※ GLD-051 | 50/66 (50/60Hz) | 6.7×10-2(氣鎮閥關閉) 6.7(氣鎮閥打開) | KF-25 | 13.9 | 165.5×399×222.7 | 200 | 單相100.115.200.220.230 |
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