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SNE-4500M型掃描電鏡是韓國SEC公司研制的高分辨、自動化、經濟的型號Mini-SEM，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率。該設備實現了大電鏡的小型化處理，放大倍率高達10萬倍；裝載易于使用的可變光闌，可達到5nm圖像分辨率，是臺式電鏡中分辨率大的設備；作為*一款5軸載臺的Mini-SEM, 能同時運用鼠標控制與快捷鍵移動樣品進行全面分析；可通過多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結果。

儀器配置

	型號	參數
SEM basic	SNE-4500M	分辨率：5nm，放大倍數：100,000倍，探測器：二次電子（SE），電壓：1到30kv，樣品臺：X,Y,R,Z,T五軸/手動控制，真空：高
	含	臺式電腦（或筆記本電腦）/因特爾處理器，硬盤：500GB，RAM緩存:4GB
		顯示器（21.5英寸）
		機械泵（裝配；軟管）；SEM備用零件（燈絲，試件臺，夾具，扳手……）Cable; Connecting 連接電纜
	SEM Additional accessories	背散射探測器，類型：固態4通道
		自動軸控制 -Type: X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);類型：X,Y,R(3軸)/DC型(標配)
EDS System EDS系統	element	分辨率：129 電子伏 / 元素范圍：從B 到Am, 反應區域：25mm2, C系列Si3N4窗口，軟件：TEAM（頻譜分析，圖像，多點，線掃描，數據記錄）

圖1 SNE-4500M型掃描電鏡

技術參數

電子光學系統	分辨率	5nm (30kV, 二次電子成像)
	放大倍率	20x~100,000x
	加速電壓	1~30kV (1/5/10/15/20/30)
	探測器	二次電子探測器（SE）
	電子槍	預對中鎢燈絲
載臺系統	載臺運動	5軸系統 (X, Y, R, Z, T -手動)
		X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360°
		Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45°
		* 影像偏移 : ±150μm
	大樣品尺寸	80mm（Φ）*35mm（H）
成像系統	自動功能	自動啟動，自動聚焦，自動消像散，自動調節對比與亮度
成像系統	圖像格式	BMP, JPEG, PNG, TIFF
真空系統	真空模式	高真空（低真空可選）
真空系統	真空泵	旋轉式機械泵/渦輪式分子泵（全自動）
尺寸與重量	主機	390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg
	控制單元	390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg
	旋轉泵	400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg

EDS(elment）介紹

EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對樣品表面進行成分分析的設備。電子束轟擊樣品表面后，可產生多種信號，EDS探測器通過檢測其中的特征X-Ray，進行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式，進行點、線、面等多區域多樣的表面成分分析，并生成不同格式的結果報告。賽可所有電鏡型號都可以裝載EDS探測器，其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能，且不需液氮，操作快速、簡便。

(a) 定性定量分析

提供快速精準的定性及定量分析結果，面，點等多領域多樣的表面成分分析，如圖2。

- 自動分離重疊峰值, 提供高信頼性結果。