相較于傳統大型SEM，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空、不用噴金測量不導電樣品等優勢，而且它的放大倍數可高達130,000倍。此類新型儀器的出現*光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的空白區域，可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等諸多領域。

　　隨著科學研究與工業生產進入了納米領域，人們對顯微技術、顯微儀器的要求越來越高，需求也日益增長。

　　光學顯微鏡價格便宜，操作簡單，但由于可見光波長的限制，其放大倍數只能達到1000倍左右;傳統大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數可以達到數萬倍，具有大景深，是當前材料科學、生物科學領域常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經過嚴格培訓的操作人員，使用不便。

　　為了解決這一矛盾，美國 FEI 公司在 2004 年提出了臺式掃描電鏡的概念。不同于傳統大型掃描電鏡，臺式掃描電鏡是一種全新的設計，其結合了光學顯微鏡與傳統掃描電鏡的優點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數和大景深，同時體積小、操作簡便，價格僅為傳統電鏡的幾分之一，逼近光學顯微鏡的價格。

　　臺式掃描電鏡的組成如下：

　　真空系統:一般采用機械泵與分子泵聯動

　　電子槍:一般為CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過1500小時，且亮度更高。目前尚沒有采用場發射(Field Emission)的臺式掃描電鏡。

　　電磁透鏡

　　探測器:背散射電子或二次電子探測器