 | 天津中環(huán)電爐股份有限公司 |
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[供應(yīng)]CVD制備石墨烯
此儀器為用戶提供快速高溫、真空、可控氣氛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，產(chǎn)品加熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節(jié)省時(shí)間。滑動(dòng)法蘭和石英支架結(jié)構(gòu)，方便式樣的裝載和卸載。循環(huán)水冷法蘭密封，可在熱處理工程中真空條件和氣氛保護(hù)，防止氧化發(fā)生
| 碳系列 —CVD生長(zhǎng)系統(tǒng) | 真空管式爐 | ||||||
| 國(guó)產(chǎn)程序 | SK-G05123K-3-655 | SK-G06123K-3-655 | SK-G08123K-3-655 | ||||
| 溫區(qū) | 三溫區(qū) | ||||||
| zui高溫度 | | ||||||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | | ||||||
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | | ||||||
| 空爐升溫時(shí)間 | ＜15min | ||||||
| 控溫精度 | ± | ||||||
| 石英管尺寸 | Φ50/43x | Φ60/53x | Φ80/72x | ||||
| 氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng) | |||||||
| 氣路數(shù)量 | 二路 | 三路 | 四路 | 五路 | |||
| 流量控制方式 | 自動(dòng)控制 | ||||||
| 流量范圍 | 0-500sccd（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮?dú)鈽?biāo)定 | ||||||
| 精 度 | ±1%F.S | ||||||
| 流量計(jì) | 質(zhì)子流量計(jì) | ||||||
| 工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力） | ||||||
| 連接方式 | 雙卡套接頭 | ||||||
| 中真空系統(tǒng) | |||||||
| 使用真空范圍 | 10Pa-100Pa | ||||||
| 真空度測(cè)量范圍 | 0.1Pa-1000Pa（1x10-1Pa-1x103Pa） | ||||||
| 控制方式 | 自動(dòng)控制/手動(dòng)控制（可切換） | ||||||
| 工作電壓 | AC220V±5% 50Hz | ||||||
| 真空泵參數(shù) | 真空泵理論極限真空度0.6Pa（6x10-1Pa），抽氣速率 | ||||||
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