上海美析儀器有限公司
電子級氫氟酸雜質含量檢測方案（ICP-MS）
檢測樣品：電子級氫氟酸
檢測項目：雜質含量
方案概述：高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用,主要應用于集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。目前,在國內基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業,其他方面用量較少。
引言
高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用,主要應用于集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。目前,在國內基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業,其他方面用量較少。
方案依據SJ/T 11637--2016電子化學品電感耦合等離子體質譜法通則
方法原理
試樣溶液經霧化系統霧化后形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體內，在高溫和惰性氬氣氣氛中蒸發、汽化、解離和電離，轉化成帶正電荷的離子，經離子采集系統進入質譜儀，按離子的質荷比進行分離，各離子質譜峰的強度與樣品中相應離子濃度成正比，可對各元素進行定性或定量分析。
儀器及試劑
美析ICP-MS6880電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS)
精密微量移液器及潔凈的聚丙烯（PP）吸頭
精密微量移液器量程: 10u L-100uL，100uL-1000uL。
全氟烷氧基樹脂(PFA)瓶
實驗用水符合GB/T 11446.1規定的EW-Ⅰ級電子級水。
超純硝酸，金屬離子含量不大于1ug/L。
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