著名的美國AJA磁控濺射系統(tǒng)和磁控濺射部件(主要是靶槍和電源、樣品臺等)〈br〉
各種分子泵,包括微型分子泵、磁懸浮分子泵、復合分子泵和耐腐蝕分子泵〈br〉
進口的全系列羅茨泵、機械泵、干式真空泵、膜片泵、中高真空機組〈br〉
各種真空測量儀表、四極質譜儀、在線氣體分析儀、氦質譜檢漏儀和大型檢漏系統(tǒng)〈br〉
產(chǎn)品檢漏的解決方案,真空應用解決方案〈br〉
工業(yè)鍍膜機、加工定做的各種真空裝置和真空機組〈br〉
各種真空閥門、精密定量進氣閥門、精密位移工具和精密三軸操作器〈br〉
A300系列磁控濺射靶槍
AJA公司的A300系列磁控濺射靶槍是為了滿足超高真空薄膜研究的需要而設計的。它的多功能性設計在世界上是處于地位的,如模塊化磁場排布、原位傾斜裝置、在靶上集成的氣環(huán)、圓錐形的靶罩以及其他超高真空的設計等。A300系列超高真空磁控濺射靶是目前市場上的研究用靶。
A300系列磁控濺射靶為圓形靶,其直徑的尺寸主要有1英寸、1.5英寸、2英寸、3英寸、4英寸等。其主要功能及特點:
- 可以做直流和射頻濺射。
- 可以濺射磁性及非磁性材料。
- 模塊化磁場排布。
- 冷卻水和磁鐵不直接接觸。
- 超高真空設計。
- 不需要拆卸可直接烤到200攝氏度。
- 工作壓力范圍寬(0.5-1Torr)。
- 有較高的濺射速率和沉積均勻性。
可選部件:
- +/- 45°傾斜裝置。
- 原位傾斜裝置。
- 集成在靶上的氣環(huán)。
- 圓錐形靶罩,用于非軸向濺射。
- 超高真空Z軸手動移動和氣動擋板。
- 復合法蘭。
- 其它特殊要求。