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化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>白光干涉測厚儀>PR05 白光干涉儀(三維形貌)

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PR05 白光干涉儀(三維形貌)

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    北京普瑞微納科技有限公司位于中關村國家自主創新示范區。公司專注于光電精密測量技術研發領域,探索測量儀器制造技術,著重發展*電子光學、精密機械以及與計算機相結合的光、機、電一體化的電子光學測量儀器,是集研發、制造、銷售及服務為一體的專業化公司。

   公司擁有一支包括光學、精密機械、軟件、圖像處理等專業的研發團隊,技術總監為多年在國外從事光學精密測量和控制領域的專家、核心成員均具有國外專業機構多年的研發背景,大多為學有所成的人才。公司
有多項自主核心,在技術的發展和創新方面處于業界*地位。采用日本*技術研制成功的PR05/06系列白光干涉三維形貌儀,性能達到同類產品的*水平,*了國內在這一領域的產品空白。

   公司致力于成為超精密光電測量儀器、在線精密檢測設備、精密控制系統、數字信號處理系統、機器人手臂等領域的*企業。用創新的理念、*的技術、優質的產品和專業化的服務,成為用戶Z有價值和值得信賴的合作伙伴。

白光干涉儀、膜厚測量儀、SPI、機器人手臂

產品原理

照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據干涉條紋明暗度解析出被測樣品的相對高度。
產品特點
1.       非接觸、高穩定性、高速度測量 
2.       高精度測量、結果可作為計量標準:垂直解析度可達0.1nm、水平解析度可達0.1um
3.       大面積測量 自動縫合技術實現大面積高精度測量
4.       功能強大、使用便捷的測量分析軟:PRVision應用軟件可提供多項測量參數
5.       適用范圍廣泛 可以測量多種類型樣品的表面微細結構
6.       真正意義的免維護及優良的性能價格比
軟件功能
1.       硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學系統自動聚焦、干涉信號處理
2.       測量結果顯示及各種方式處理:二維平面和三維立體顯示、任意放大或縮小顯示圖像、調平和多角度自由旋轉
3.       粗糙度測量及結果顯示:包括評價區域位置信息和多種粗糙度評價參數
4.       線寬測量及結果顯示:采用亞像素插值處理技術,線寬測量精度zui高可達0.1um、表格形式顯示各種線寬結果、根據事先確定的評判基準,實現線寬自動評判功能
5.       多幅相鄰區域測量結果自動縫合
應用領域
在眾多高科技研發及產業中,諸如半導體、微機電、平面顯示器與電子封裝等,由于微結構表面輪廓的準確性決定產品的功能和效能,在其制成過程中皆需針對微結構的表面輪廓品質進行檢測,PR系列產品提供多種表面參數量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度以滿足業界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面,只要反光率超過1%,就能被*檢測出來。半導體硅片及器、MEMS裝置表面、平面液晶顯示器、薄膜厚度、金屬摩擦學、陶瓷基板表面、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究。

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