YIT系列 多功能通用晶圓搬運機系統
- 公司名稱 深圳山河精測科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 YIT系列
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/4/27 16:43:36
- 訪問次數 117
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工業顯微鏡，超聲波探傷儀，超聲波測厚儀，渦流探傷儀，相控陣探傷儀，工業內窺鏡，雙折射應力儀，三坐標，工業鏡頭，顯微鏡物鏡，非接觸3D測量儀，激光共聚焦顯微鏡，納米壓痕儀，顯微鏡下微取樣系統，無掩膜曝光系統。
| 應用領域 | 化工 |
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多功能通用晶圓搬運機系統YIT系列對應各種檢查裝置，適用于晶圓、玻璃相關產品自動搬運系統
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- 裝置特征 - | ■通過專用軟件，以料盒為單位進行自動搬運。 ■在搬運一側可對測量晶圓進行選擇，也支持手動搬運。 ■通過工件檢測系統實現無浪費的抓取。 ■通過高重復性的驅動系統，實現高可靠性的搬運。 ■可實現向裝置側的各個工位進行搬運。 | |||
主要陣容 | ||||
●桌面式 | ||||
▲150mm桌面式自動載物臺組合
▲200mm桌面式自動載物臺組合 | 適用于75mm/100mm/150mm/200mm/300mm尺寸晶圓
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●立式 | ||||
| 適用于150mm/200mm/300mm尺寸晶圓
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設備規格 ●適用于貼合硅片顯微鏡檢查自動搬運。 ●與自動工作臺組合可現實全自動搬運(需要與檢查裝置進行通信)。 ●手動輸送模式：750(w)x600(D)X1480(H)(6英寸自立型，包括主電源)※我們也會探討晶圓以外的產品。 | ||||
我們將為您提供測量、檢查、分析一體化系統方案。 | ||||
根據需求回應 | ●可以根據晶圓尺寸和檢查內容給出最適宜的方案。
●采用了樹脂類的聚醚醚酮（PEEK）材質的 搬運臂，在發生故障時，搬運臂的破損率 以及晶圓的破損率都有所降低。 ●可與現有檢查裝置聯動。 能夠在您已經在使用的檢查裝置上追加搬 運系統。不論顯微鏡品牌，我們都會探討 是否能夠適配。 ●可與自動檢查裝置的聯動。但是會與檢查裝置側產生通信費用。 *需要與檢查裝置制造商進行協商。 ▲各移動軸設定值 | |||
優秀的操作性 | 采用 8 英寸的可編程邏輯控制器（PLC）畫面，因此對于全數檢查、抽樣檢查等各種設定操作，都能一目了然地進行。根據您的需求，檢查畫面的布局也可以進行更改。在與自動檢查裝置聯動的情況下，采用了警示燈（三色燈），當完成25片料盒的檢查后，會通知操作人員。 |
▲各移動軸設定值 | ||
豐富的選項 | 可對應背面微觀檢查、表面宏觀檢查模式、清潔度提升、除靜電對策等各種各樣的可選配置。即使在搬運裝置導入后，也能夠追加基本規格的可選配置。 ●具備多料盒自動識別功能，能夠自動識別，并通過對不同厚度產品的定位（rod）進行坐標值注冊，實現高可靠性的安全搬運。 ●通過全封閉設計可以保持高度清潔的環境。 ●通過2盒(裝載/卸載)、3盒(裝載和卸載 OK·NG)化，可對產品進行分類。 |
▲包里面觀察臂 | ||
多功能通用晶圓搬運機系統YIT系列主要規格 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
組合示例):YIT200A-L-P-2N 與 200毫米自動工作臺聯動、具備背面檢測功能、有警示燈、對應2個料盒、為缺口檢測類型。 不論顯微鏡品牌，都可連動輸送裝置，若顯微鏡側為自動臺型，也可自動輸送25張。 但是，由于需要與檢查裝置進行通信，需要與裝置軟件負責人進行協商。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
■晶圓搬運裝置基本規格
| ■選項 ·映射（檢測產品存在/不存在） ·晶圓彈出檢測 ·錯誤編碼顯示 ·二維碼 ·靜電防護措施（離子發生器） ·清潔度提升措施（高效空氣過濾器 / 超高效空氣過濾器） ·適應樣品尺寸和形狀 ·支持多料盒 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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