FT1030 深能級瞬態譜儀DLTS
- 公司名稱 上海麥科威半導體技術有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FT1030
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/4/26 18:16:29
- 訪問次數 48
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詳細介紹
高能分辨率深能級瞬態譜(DLTS)
PhysTech在1990年推出了一臺數字DLTS,隨著電腦技術的發展,使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上,用各種數學模型分析測量到的瞬態過程,如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS(等溫瞬態光譜)信號重疊法、溫度掃描信號重疊法(重折疊)。與其他系統相比,HERA-DLTS具有能量分辨率。
半導體的摻雜濃度、缺陷能級位、界面態(俘獲界面)是研究半導體性質的重要手段。此設備根據半導體P-N 結、金-半接觸結構肖特基結的瞬態電容(△C~t)技術和深能級瞬態譜(DLTS)的發射率窗技術測量出的深能級瞬態譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實驗方法,能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度(即能量)分布的DLTS 譜。
特點:
操作模式:
規格:
Options
Constant Capacitance
Optical Excitation
Fast Pulse Interface
±100 V Option
Multi Sample Interface
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS(等溫瞬態光譜儀)
缺陷分析
俘獲截面測量
I/V, I/V(T)理查森標繪圖
C/V, C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS(光子誘導瞬態譜)
DLOS(特殊系統)
自動接觸檢查
常規測試和加強軟件
自動電容補償
三終端FET電流瞬態測量
大電容和濃度范圍
靈活性高、模塊化硬件
支持各種冷卻倉和溫度控制器
傅里葉轉換(F-DLTS),比例窗口和用戶自定義校正功能
DLTFS(深層瞬態傅里葉光譜儀)評價