| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
優勢??！EBARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W
優勢！！EBARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W
ESA類型
可排出氫氣等輕質氣體并對大型腔室進行高速排氣的干式真空泵
大型真空室，高速排氣
有機溶劑兼容選項
氫氣和其他輕氣體的尾氣
耐腐蝕材料選項
無油
CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容
非常適合研究機構
吸附特定化學物質
產品介紹
ESA型備有適合氫氣等輕質氣體排氣的排氣量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合大型腔室高速排氣的排氣量20,000L/min～80,000L/min的型號。容量為 10,000 L/min 或更低的型號適用于輕質氣體排放，并具有緊湊的設計和耐腐蝕材料選項。它們是 MO-CVD 等高流量輕氣體排氣應用的理想選擇。大型機型雖然排氣量大，但運行安靜、振動低，并且還提供有機溶劑排氣選件，非常適合用于液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等。
規格
模型 | 單元 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
抽速 | 升/分鐘 | 1,400（50赫茲） | 2,500（50赫茲） | 5,000（50赫茲） | 7,000（50赫茲） | 7,000（50赫茲） | 8,400（50赫茲/60赫茲） | 8,400（50赫茲/60赫茲） | 10,000（50赫茲/60赫茲） | 10,000（50赫茲/60赫茲） | 20,000（50赫茲/60赫茲） | 28,000（50赫茲） | 47,000（50赫茲） | 80,000（50赫茲/60赫茲） | |
1,700（60赫茲） | 3,000（60赫茲） | 6,000（60赫茲） | 8,400（60赫茲） | 8,400（60赫茲） | 30,000（60赫茲） | 50,000（60赫茲） | |||||||||
極限壓力 | 爸爸 | 400（50赫茲） | 5.3（50赫茲） | 5.3（50赫茲） | 0.27（50赫茲） | 0.4（50赫茲） | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
270（60赫茲） | 4.0（60赫茲） | 4.0（60赫茲） | 0.13（60赫茲） | 0.27（60赫茲） | |||||||||||
連接尺寸 | 進氣口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 2.9（50赫茲） | 2.6（50赫茲） | 5.2（50赫茲） | 3.6（50赫茲） | 3.6（50赫茲） | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2（50赫茲） | 6.6（50赫茲） | 5.1（50赫茲） | 7.4 | |
3.2（60赫茲） | 2.9（60赫茲） | 5.8（60赫茲） | 4.0（60赫茲） | 4.0（60赫茲） | 3.4（60赫茲） | 7.3（60赫茲） | 6.7（60赫茲） | ||||||||
冷卻水 | 流動 | 升/分鐘 | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
溫度 | ℃ | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | |
氮氣 | 流動 | 帕•立方米/秒 | 14~17（4.6） | 17~20（3.8） | 34~40 | 24~27（4.7） | 24~27（4.7） | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20（3.8） | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
電源相位/電壓/頻率 | 200V型號 | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
400V型號 | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | - | ||
460V型號 | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | ||||||||||||
供電容量 | 千伏安 | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
近似質量 | 公斤 | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
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