全自動臺階儀 JS2000B
- 公司名稱 廣州領拓儀器科技有限公司
- 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/4/24 15:44:51
- 訪問次數 67
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| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
• 產品介紹
澤攸科技JS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表，憑借其創新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能，可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。
JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號，結合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統，通過精密調節探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對軟質材料的損傷，又確保了測量過程的穩定性。此外，設備搭載的攝像頭實時成像系統，可同步觀察樣品區域與探針尖的位置關系，輔助用戶精確定位特征結構，顯著提升測量效率。
作為國產科學儀器的突破性成果，JS系列臺階儀打破了國外品牌在表面測量設備領域的長期壟斷，憑借高性價比與本地化服務優勢，成為國內高校、科研機構及制造企業的優選設備。
• 特點
量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、高性價比
• 應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計劃任務和多點掃描
▲ 批量測試晶圓，批量處理數據等
• 系統組成
▲ EFEM（SMIF+ROBOT+ALINGER)
▲ JS200B
• 選配品
▲ 高度校準標樣
▲ FFU模塊
▲ 靜電消除模塊
▲ E84接口
• 技術參數
JS2000B | |
臺階高度最大范圍 | ≤80um |
臺階高度重復性 | ≤0.5nm |
垂直分辨率 | 0.05nm |
探針加力范圍 | 0.5mg~50mg |
單次掃描長度 | ≤55mm |
晶圓尺寸 | 可兼容6寸、8寸Wafer |
晶圓厚度 | ≤10mm |
晶圓材質 | 硅、鉭酸鋰、玻璃等(不透明，半透明，透明) |
圖像識別系統精度 | 定位精度優于±10um |
機械動作穩定性 | 馬拉松傳送測試>500片 |
生產效率 | WPH≥10片(單面量測≥5個位置) |
臺階高度最大范圍 | ≤80um |
標準探針 | 曲率半徑≥2um角度60°(標配) |
亞微米探針 | 曲率半徑≤1um角度60°(選配) |
軟件功能 | 數據處理：臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量; |
應力測試和3D掃描成像 | |
數據通訊：SECS通訊接口 | |
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