第三方儀器校準(zhǔn)計(jì)量中心供應(yīng)檢驗(yàn)校正服務(wù)

以下是激光干涉儀校準(zhǔn)的一般規(guī)程：

校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

• 環(huán)境條件控制：溫度控制在20℃±2℃范圍內(nèi)，且校準(zhǔn)過(guò)程中波動(dòng)要小，可使用空調(diào)或恒溫設(shè)備；濕度保持在40%-60%，通過(guò)除濕或通風(fēng)設(shè)備調(diào)節(jié)；將儀器置于隔振平臺(tái)上，平臺(tái)要水平且遠(yuǎn)離振動(dòng)源。

• 儀器預(yù)熱：按儀器說(shuō)明書要求進(jìn)行預(yù)熱，通常需開機(jī)預(yù)熱20分鐘以上，使儀器達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)。

• 光學(xué)元件清潔：用無(wú)水乙醇和鏡頭紙輕輕擦拭激光發(fā)射器、接收器的光學(xué)窗口及反射鏡表面。

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校準(zhǔn)項(xiàng)目與方法

• 激光波長(zhǎng)校準(zhǔn)：采用已知長(zhǎng)度的標(biāo)準(zhǔn)具或基準(zhǔn)尺作參考，如高精度量塊。啟動(dòng)儀器，讓激光通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)具，測(cè)量激光在標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度下的干涉條紋數(shù)，通過(guò)多組數(shù)據(jù)計(jì)算實(shí)際波長(zhǎng)。若與理論值有偏差，通過(guò)調(diào)節(jié)裝置調(diào)整。

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• 直線度校準(zhǔn)：將被測(cè)設(shè)備安裝在直線導(dǎo)軌上，反射鏡固定在末端，調(diào)整激光發(fā)射器使激光束與導(dǎo)軌平行。移動(dòng)被測(cè)設(shè)備，反射鏡沿導(dǎo)軌做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，干涉儀采集干涉條紋數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為位移數(shù)據(jù)，分析得到直線度誤差，超范圍則調(diào)整設(shè)備安裝位置或機(jī)械結(jié)構(gòu)。

• 光路校準(zhǔn)：檢查激光路徑，確保干涉鏡和反射鏡安裝正確、對(duì)準(zhǔn)精確。可通過(guò)調(diào)整相關(guān)部件，使激光束準(zhǔn)確傳播和反射，保證光路偏差在允許范圍內(nèi)。對(duì)于部分激光干涉儀，需按特定步驟調(diào)節(jié)光路，如美國(guó)光動(dòng)激光干涉儀，要先近后遠(yuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)，使反射光線重合并進(jìn)入回光孔，保證光強(qiáng)指示燈全亮。

校準(zhǔn)后處理

校準(zhǔn)完成后，填寫校準(zhǔn)記錄，內(nèi)容包括校準(zhǔn)日期、人員、儀器型號(hào)及編號(hào)、校準(zhǔn)項(xiàng)目、結(jié)果等。依據(jù)校準(zhǔn)結(jié)果，對(duì)儀器粘貼相應(yīng)標(biāo)簽，合格則貼合格標(biāo)簽，不合格需送修并重新校準(zhǔn)。