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LT2-1.5 實驗室冷水機|簡易操作 可定制化溫控方案

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 無錫冠亞智能裝備有限公司
  • 品牌 LNEYA/無錫冠亞
  • 型號 LT2-1.5
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/11 9:26:52
  • 訪問次數(shù) 134

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無錫冠亞智能裝備有限公司是專業(yè)從事溫控設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、培訓(xùn)的企業(yè),擁有數(shù)位在超低溫、高低溫開發(fā)方面具有豐富經(jīng)驗的高素質(zhì)專業(yè)設(shè)計人員的研發(fā)隊伍,開發(fā)了適用于制藥化工、航空航天、新能源汽車測試等行業(yè)的溫度控制產(chǎn)品。

 

  產(chǎn)品主要控溫范圍:-85℃~250℃,控溫精度可達±0.5℃。

  公司主營產(chǎn)品包括:高低溫一體機、超低溫冷凍機、冷卻循環(huán)系統(tǒng)、低溫制冷循環(huán)器、新能源電池/電機控溫系統(tǒng)。

  唯有產(chǎn)品品質(zhì)的不斷提升才能造就企業(yè)的生生不息,源于這—質(zhì)量觀,我們—直在通過提高企業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)品質(zhì)的有效管理來提升企業(yè)自身的競爭力。我公司無論在銷售、生產(chǎn)、售后等各方面均已建立了完善的控制系統(tǒng),以確保對客戶的服務(wù)達到無微不至,并通過我們的努力樹立了良好的市場形象與專業(yè)口碑。

 

 

 

冷水機、冷凍機、制冷加熱控溫系統(tǒng)、新能源測試控溫系統(tǒng)、半導(dǎo)體芯片控溫系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)

冷凍方式 風(fēng)冷式 應(yīng)用領(lǐng)域 食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池




實驗室冷水機|簡易操作 可定制化溫控方案

實驗室冷水機|簡易操作 可定制化溫控方案

 

以下是關(guān)于變頻深冷機為半導(dǎo)體制造過程工藝提供冷源的技術(shù)解析及應(yīng)用要點,結(jié)合行業(yè)需求與搜索資料綜合闡述:

一、半導(dǎo)體制造中的核心應(yīng)用場景

1、晶圓制造關(guān)鍵工序

光刻工藝:需快速冷卻光刻機光源組件如激光器、透鏡,避免溫度波動導(dǎo)致光刻膠黏度變化,影響曝光精度。變頻深冷機通過動態(tài)調(diào)節(jié)壓縮機轉(zhuǎn)速,實現(xiàn)±0.1℃溫控精度,保障芯片分辨率。

2、刻蝕與薄膜沉積

等離子刻蝕和CVD/PVD工藝中,反應(yīng)腔體溫度需穩(wěn)定在-40℃~200℃寬溫域,變頻深冷機通過多級制冷系統(tǒng)如半導(dǎo)體制冷片串聯(lián)快速導(dǎo)出熱量,影響副反應(yīng)并提升薄膜均勻性。

3、晶圓清洗與拋光

清洗液溫度需準確控制,防止化學(xué)溶液因溫度波動損傷晶圓表面;CMP工藝中冷卻拋光墊,減少摩擦熱導(dǎo)致的表面缺陷。

4、封裝與測試環(huán)節(jié)

芯片固化、退火等后道工藝中,深冷機提供-80℃低溫環(huán)境如使用乙二醇載冷劑,加速固化過程并降低熱應(yīng)力,提升封裝可靠性。

二、選型與運維要點

制冷能力匹配

需根據(jù)工藝峰值熱負荷預(yù)留冗余量,例如某刻蝕設(shè)備額定散熱量50kW,選配制冷量≥60kW的深冷機組。

環(huán)境適配性

潔凈室場景需配置HEPA過濾系統(tǒng);腐蝕性環(huán)境優(yōu)先選擇鈦合金材質(zhì);防爆要求場合選配隔離防爆機型。

變頻深冷機憑借寬溫域、高精度和智能化優(yōu)勢,選型需考量工藝適配性,可聯(lián)系冠亞恒溫工程師為您提供選型服務(wù)。




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