TG1300MU Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
| 參考價 | ￥ 7920 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 OSAKA大阪真空
- 型號 TG1300MU
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/3/29 14:53:48
- 訪問次數(shù) 27
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| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設計，運行數(shù)據、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據。
各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
結構與工作原理
（1）核心組件
轉子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉速約20,000~90,000 RPM）。
定子葉片：與轉子交錯排列，形成氣體通道。
電機：高頻交流電機或磁懸浮軸承電機（避免機械磨損）。
排氣口：連接前級泵（如旋片泵），排出壓縮后的氣體。
（2）工作原理
動量傳遞：高速旋轉的葉片撞擊氣體分子，使其向下級運動（分子流態(tài)下有效）。
壓縮比：每級葉片對氣體進行壓縮，最終由前級泵排至大氣。
工作壓力范圍：依賴分子流狀態(tài)（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）。
?? 注：渦輪分子泵在**分子流態(tài)（壓力＜10?1 Pa）**下效率高，需避免大氣壓下啟動（會過熱損壞）。
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