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CVD氣源發(fā)生器

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蘇州阿洛斯環(huán)境控制系統(tǒng)有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境發(fā)生器相關(guān)產(chǎn)品及測(cè)試和應(yīng)用平臺(tái)的試驗(yàn)開發(fā)的技術(shù)型公司,公司由畢業(yè)于清華大學(xué)的張家港市人才柯銳博士創(chuàng)建,聚集了來(lái)自清華大學(xué)、浙江大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、南京農(nóng)業(yè)大學(xué)等重點(diǎn)院校畢業(yè)的創(chuàng)業(yè)人才,先后完成了高純甲醛(污染物)在線發(fā)生器、精密水蒸氣發(fā)生器、車載交變濕熱環(huán)境發(fā)生器、歐姆熱催化尿素水解在線制氨發(fā)生器、煙氣發(fā)生器和催化通用測(cè)試平臺(tái)等一些列產(chǎn)品,該系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)保脫銷、鋼鐵、汽車、空氣凈化、環(huán)境傳感等熱門行業(yè)。

 

發(fā)生器,評(píng)價(jià)裝置等

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,綜合
         

設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過(guò)蒸發(fā)段氣化,隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合,為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。

PLC控制系統(tǒng),Ethernet通訊,與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。


 


 

含錫前驅(qū)體  

60  

sccm  

含氟前驅(qū)體  

≤20  

sccm  

H2O  

60  

sccm  

功率  

7.5  

kW  

 

 

 



CVD氣源發(fā)生器  


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