CVD氣源發(fā)生器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/2 10:18:30
- 訪問(wèn)次數(shù) 46
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,綜合 |
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設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過(guò)蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。
例
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。
含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
H2O | ≤60 | sccm |
功率 | 7.5 | kW |
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