型號 | 6英寸/8英寸 | 材質 | 拋光不銹鋼/鍍金 |
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吸附方式 | 真空吸附 | X-Y軸調節方式 | 線性無回差1μm精調 氣浮快速定位 |
Z軸升降調節行程 | 0-10mm,精度1μm |
探針臺型號 | HTM-600 | |
外形尺寸 | 寬580mm | |
深520mm | ||
高800mm | ||
整體重量 | 約80Kg | |
樣品臺 | 尺寸 | 中6英寸 |
材質 | 拋光不銹鋼/鍍金 | |
平整度 | ±3μm | |
吸附方式 | 真空吸附 | |
電學特性 | 浮地懸空 背電極信號加載&測量 | |
X -Y軸調節行程 | 6英寸x6英寸 | |
X-Y軸調節方式 | 線性無回差1μm精調 氣浮快速定位 | |
Z軸升降調節行程 | 0-10mm,精度1μm | |
θ 水平方向旋轉角度粗調 | 0-360° | |
θ 水平方向旋轉角度微調 | ±5°,精度0.1° | |
a垂直方向擺動角度微調 | ±20°,精度0.1° | |
顯微鏡 | X-Y-Z軸調節行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
Z軸氣動升降行程 | 50mm,升降速度可調 | |
傾仰角度調節 | 0-30°,自動鎖止 | |
光學倍率 | 180X/500X/1000X | |
光學分辨率 | 5μm/2μm/1μm | |
工業相機像素 | 1920x 1080P | |
針座 臺面 | 外型 | U型 |
材質 | 拋光不銹鋼&防腐氧化 | |
平整度 | ±3μm | |
容 積 | 至多放置8個探針座 | |
快速升降行程 | 5mm | |
微調升降行程 | 25mm,精度1μm | |
探針座 點測定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm | |
探針座支持測量類型 | 低頻/高頻/大功率/光波 | |
探針卡 安裝尺 寸 | 4.5英寸 | |
測量 范圍 | 低頻測 量電流精 度 | 10pA(Coaxial) 100fA(Triaxial) 10fA(Kelvin) |
高頻測量 頻率范 圍 | DC-1100GHz | |
大功率測量范圍 | 10KV/1500A | |
光波測量范圍 | 紫外/可見光/紅外 |