MAS4-BE 曝光系統(tǒng)一體機
- 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MAS4-BE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/17 10:11:30
- 訪問次數(shù) 165
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產(chǎn)品應用:
MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機可實現(xiàn)一機多用,集成化程度更高,占地面積更小。廣泛應用于高校研究所實驗的光刻工藝,可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序。
工藝步驟:
涂膠(放片、滴膠、旋轉、取片)→烤機(放片、烘烤、取片)→曝光(放片、曝光、取片)→顯影(放片、旋轉顯影和水洗、取片)→取片(轉移下道工序)。
控制系統(tǒng)
控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式,實時顯示設備運行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實現(xiàn)自由的配方編輯,自由修改、編輯、存儲、及調(diào)用工藝配方等。
技術參數(shù):
曝光系統(tǒng)一體機 | 外觀 | 不銹鋼 | 曝光
| 曝光模式:接觸式一次曝光 |
處理尺寸 | ≤Ф102mm | 光源: 4"LED 專用曝光頭 | ||
涂膠 | 轉速:20-10000RPM | 紫外光中心波長:365nm | ||
加減速度:350-10000RPM/S | 操作方式:手動 | |||
編程:50組20步 | 顯影 | 轉速:20-3000 R.P.M | ||
烤膠 | 溫度:RT~300℃ | 擺臂:自動 | ||
面板材質:鋁合金 | 配置:一路顯影、一路水 |