產品特點:
紅外鹵素燈管加熱 ,冷卻采用風冷
燈管功率 PID 控溫,可精準控制溫度升溫 ,保證良好的重現性與溫度均勻性
大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理
標配兩組工藝氣體,最多可擴展至 6 組工藝氣
采用平行氣路進氣方式,氣體的進入口設置在 Wafer 表面,避免退火過程中冷點產生,保證產品良好 的溫度均勻性
技術參數:
最大產品尺寸最大處理 200×200mm,兼容8寸,及8寸以下wafe
腔體數量:單腔
腔體溫度監控:<70℃
溫度范圍:室溫~1250℃
溫度控制重復性:±2℃
恒溫持續時間:可依據要求編程
控溫區域:多組控溫區域,保證恒溫區溫度穩定性
抽氣速率:500SLM
漏率:30mTorr/min
SCR 控溫區域:16 組控溫區
降溫速度:約 200℃/min(1000~400℃) 不可編程
持溫時間:可依據制程需求設定持溫時間
燈管電流精度:≤±0.1amp
燈管:平均 1500 小時以上使用壽命,上下兩面同時加熱