SteeVac260/360/460 真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列-東譜科技
- 公司名稱 東譜科技(廣州)有限責任公司
- 品牌 東譜
- 型號 SteeVac260/360/460
- 產地 中國
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/3/11 11:14:31
- 訪問次數 4
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應用領域 | 化工,生物產業,能源,制藥,綜合 |
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產品簡介
SteeVac系列可提供200A蒸鍍電流,蒸發溫度可600°C,能夠滿足大部分有機材料的蒸鍍,也可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度;真空腔室采用優質不銹鋼材料,采用方形結構,內部空間充足;可設置16組不同的蒸發材料,滿足各種復雜的蒸鍍條件;搭配分子泵可達優于5*10-4Pa的真空度,適應絕大部分蒸發材料所需真空環境;配備全自動抽真空系統;可以實現軟件點擊開啟抽真空,全自動根據真空度檢測機械泵、分子泵、閘板閥、電磁閥的智能開啟,實現鼠標一鍵式抽真空。配備手套箱防抽爆自動檢測系統。
產品特點
□ 自動切換掩膜系統;
□ 自動開關腔體,自動抽真空、退真空系統;
□ 自動鍍膜工藝;
□ 完善的錯誤檢測系統
□ 優異的鍍膜均勻性;
□ 提供定制化服務。
產品應用
□ 有機分子薄膜制備;
□ 半導體薄膜制備;
□ 光學薄膜制備;
□ 金屬電極制備;
□ 典型樣品:OLED、鈣鈦礦、薄膜電池、薄膜晶體管等。
功能參數
□ 蒸發源數量:2~16組可選;
□ 蒸發電流:0~200A連續可調;
□ 蒸發電源模組:1~10組可選,功率600W,1200W,1500W可選;
□ 極限真空:優于4*10-5Pa;
□ 樣品與蒸發源距離:固定或0~70mm可調;
□ 鎢舟擋板:按蒸發源標配,2~16組;
□ 氣壓保護:進口壓力開關,正負壓可設置,有效保護真空環境;
□ 抽氣速率:常壓至5*10-2Pa≤10min;
□ 掩膜庫:4位/6位/8位可選;
□ 真空保持:停止真空系統后12小時≤2 Pa;
□ 門板控制:手動、手動自動集成可選。
規格型號
參數/規格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
鍍膜方式 | 多源熱蒸發鍍膜 | 多源熱蒸發鍍膜 | 熱蒸發鍍膜 |
腔體結構 | 方形,前后開門,可配合手套箱安裝 | 方形,前后開門,可配合手套箱安裝 | 方形,前后開門,可配合手套箱安裝 |
材質用料 | 優質真空不銹鋼 | 優質真空不銹鋼 | 優質真空不銹鋼 |
真空腔室尺寸 | L260*W262*H351 | L360*W363*H486 | L460*W464*H635 |
電極分布 | 扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染 | 扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染 | 扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染 |
低溫源(有機/氧化物等)數量 | 最多6個蒸發源 | 最多9個蒸發源 | 最多13個蒸發源 |
低溫源溫度范圍 | 室溫~600°C | 室溫~600°C | 室溫~600°C |
低溫源切換 | PC控制/手動 | PC控制/手動 | PC控制/手動 |
高溫源(金屬)數量 | 1~3可選 | 1~4可選 | 1~6可選 |
基片臺(樣品架)方案一 | φ161mm,圓形 | φ224mm,圓形 | φ287mm,圓形 |
基片臺(樣品架)方案二 | 80*80mm,方形 | 110*110mm,方形 | 150*150mm,方形 |
基片臺(樣品架)加熱 | 常溫/加熱,加熱可選配室溫~400℃或室溫~200℃溫控范圍 | ||
基片臺(樣品架)高度 | 樣品架與源表面距離:≤330mm;裝片方式:側插方式 | ||
樣品托及掩模版 | 70×70mm,可放置65×65mm樣品 | 100×100mm,可放置90×90mm樣品 | 134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品 |
參數/規格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
基片臺擋板 | 程控,氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠 | 程控,氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠 | 程控,氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠 |
基片臺升降 | 固定間距或0~30mm可調 | 固定間距或0~50mm可調 | 固定間距或0~70mm可調 |
基片尺寸 | ≤30×30mm | ≤30×30mm | ≤30×30mm |
膜厚不均勻性 | ≤5% | ≤5% | ≤5% |
備用接口 | 4 | 6 | 6 |
門板控制 | 手動/自動/手自一體 | 手動/自動/手自一體 | 手動/自動/手自一體 |
系統控制 | PC軟件;速率自動控制,功率控制,溫度控制。 | PC軟件;速率自動控制,功率控制,溫度控制。 | PC軟件;速率自動控制,功率控制,溫度控制。 |
蒸鍍過程控制 | 各操作環節,掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成 | 各操作環節,掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成 | 各操作環節,掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成 |
總功率 | ≥5KW | ≥8KW | ≥10KW |
抽氣速率 | 5.0×10-2Pa≤5min | 5.0×10-2Pa≤8min | 5×10-2Pa≤10min |
極限真空 | 優于4.0×10-5Pa | 優于4.0×10-5Pa | 優于4.0×10-5Pa |
漏率 | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S |
工作真空 | ≥5×10-4Pa,從大氣到工作真空時間≤30min | ||
系統保壓 | 系統抽到極限后,停泵關機12小時后,系統真空度保持≤2Pa | ||
參數/規格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
分子泵類別 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 |
冷卻系統 | 搭配循環水冷卻 | 搭配循環水冷卻 | 搭配循環水冷卻 |
循環水參數 | ≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1% | ≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1% | |
掩膜庫一 | 4位 | 4位 | 4位 |
掩膜庫二 | 6位 | 6位 | 6位 |
掩膜庫 | 8位 | 8位 | 8位 |
真空系統 | 分子泵+機械泵,PC軟件控制 | 分子泵+機械泵,PC軟件控制 | 分子泵+機械泵,PC軟件控制 |
蒸發電源 | 控制方式:恒流模式; 數量:按客戶要求; 功率:600W,1200W,1500W可選; 精度:程控精度為量程的0.01%。 | 控制方式:恒流模式; 數量:按客戶要求; 功率:600W,1200W,1500W可選; 精度:程控精度為量程的0.01%。 | 控制方式:恒流模式; 數量:按客戶要求; 功率:600W,1200W,1500W可選; 精度:程控精度為量程的0.01%。 |
典型:金屬源×4套,有機源×4套,內門,外門下方各放兩只有機源,左右各放兩只金屬源;有機源可開艙調整角度,帶有標尺,范圍豎直到指向樣品中心。 | |||
真空保持 | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa |
系統保護 | 氣壓、高壓保護,控制系統全程即時報警 | 氣壓、高壓保護,控制系統全程即時報警 | 氣壓、高壓保護,控制系統全程即時報警 |
參數/規格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
氣路控制 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 |
電氣柜 | 與系統一體式集成化,節省空間 | 與系統一體式集成化,節省空間 | 與系統一體式集成化,節省空間 |
腔室測溫 | 可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值 |
膜厚儀 | 腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀;可選國產或進口監測控制儀 | 腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀;可選國產或進口監測控制儀 | 腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀;可選國產或進口監測控制儀 |
真空計顯示范圍 | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa |
機架 | 進口鋁型材組裝,整體簡潔大方 | 進口鋁型材組裝,整體簡潔大方 | 進口鋁型材組裝,整體簡潔大方 |
顯示屏 | 搭配工業級屏幕支架,可任意角度旋轉及隨意升降,滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業級屏幕支架,可任意角度旋轉及隨意升降,滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業級屏幕支架,可任意角度旋轉及隨意升降,滿足不同用戶的舒適要求 |