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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>真空設備>真空應用設備>SteeVac260/360/460 真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列-東譜科技

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SteeVac260/360/460 真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列-東譜科技

具體成交價以合同協議為準

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東譜科技 Oriental Spectra

東譜科技(品牌商標:Oriental Spectra)是一家專業的光電譜學類儀器及技術方案服務商,由國內外高校專業研究人員和行業工程師聯合發起。團隊核心成員均獲得光機電類碩博士學位,具有5-10年國際實驗室及企業研發經驗,擁有出色的光電子前沿科學研究及光機電產品開發的實力。自主研發的系列譜學檢測產品已廣泛應用于材料科學、生命科學、食品科學、環境科學、石油化工、地質學等領域。公司經過多年發展,目前擁有應用于光電子器件性能表征分析的光電產品線和前沿光譜技術(瞬態、超快)為核心的光譜產品線。具備為太陽能電池、光伏材料與器件、發光材料與器件、光催化、半導體材料等行業研究需要提供對應表征測試分析儀器及測試方案的能力。

光電產品線

□ 電致/光致發光量子效率測量儀HiYield

□ 電致發光測量儀NovaLum

□ 多通道發光/光伏器件穩定性測量儀EL-Lab

□ 太陽能電池光伏特性測量儀Sunshine

□ 瞬態光電流/光電壓/光電荷測量儀TranPVC

□ 多功能光電器件測量系統UltraTran

□ 飛行時間法遷移率測量儀FlyTOF

□ 多通道光伏器件穩定性測量儀PVLab

□ 光探測器綜合測量儀FineDet 990

□ 有機發光分子取向儀AngleLum

□ 半導體光源Pina/NanoQ/Mic/Tuna

□ 多功能樣品夾具HiSam

□ 氣體變溫快速換樣系統MagicK

光譜產品線

□ 光電一體化時間分辨光譜儀HiLight 990

□ 穩瞬態熒光光譜儀HiLight HS15

□ 熒光壽命測量儀HiLight T30

□ 瞬態電致發光光譜儀HiLight E60

□ 熒光光譜儀HiLight S20

□ 寬時域時間分辨單光子計數器HiTime

□ 納秒瞬態吸收(激光閃光光解)光譜儀NanoFly

□ 飛秒瞬態吸收光譜儀FemtoFly





光譜儀、光電檢測儀器、激光器、技術服務

應用領域 化工,生物產業,能源,制藥,綜合

產品簡介

SteeVac系列可提供200A蒸鍍電流,蒸發溫度可600°C,能夠滿足大部分有機材料的蒸鍍,也可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度;真空腔室采用優質不銹鋼材料,采用方形結構,內部空間充足;可設置16組不同的蒸發材料,滿足各種復雜的蒸鍍條件;搭配分子泵可達優于5*10-4Pa的真空度,適應絕大部分蒸發材料所需真空環境;配備全自動抽真空系統;可以實現軟件點擊開啟抽真空,全自動根據真空度檢測機械泵、分子泵、閘板閥、電磁閥的智能開啟,實現鼠標一鍵式抽真空。配備手套箱防抽爆自動檢測系統。

產品特點

□ 自動切換掩膜系統;

□ 自動開關腔體,自動抽真空、退真空系統;

□ 自動鍍膜工藝;

□ 完善的錯誤檢測系統

□ 優異的鍍膜均勻性;

□ 提供定制化服務。

產品應用

□ 有機分子薄膜制備;

□ 半導體薄膜制備;

□ 光學薄膜制備;

□ 金屬電極制備;

□ 典型樣品:OLED、鈣鈦礦、薄膜電池、薄膜晶體管等。

功能參數

□ 蒸發源數量:2~16組可選;

□ 蒸發電流:0~200A連續可調;

□ 蒸發電源模組:1~10組可選,功率600W,1200W,1500W可選;

□ 極限真空:優于4*10-5Pa;

□ 樣品與蒸發源距離:固定或0~70mm可調;

□ 鎢舟擋板:按蒸發源標配,2~16組;

□ 氣壓保護:進口壓力開關,正負壓可設置,有效保護真空環境;

□ 抽氣速率:常壓至5*10-2Pa≤10min;

□ 掩膜庫:4位/6位/8位可選;

□ 真空保持:停止真空系統后12小時≤2 Pa;

□ 門板控制:手動、手動自動集成可選。

規格型號

參數/規格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
鍍膜方式多源熱蒸發鍍膜多源熱蒸發鍍膜熱蒸發鍍膜
腔體結構方形,前后開門,可配合手套箱安裝方形,前后開門,可配合手套箱安裝方形,前后開門,可配合手套箱安裝
材質用料優質真空不銹鋼優質真空不銹鋼優質真空不銹鋼
真空腔室尺寸L260*W262*H351L360*W363*H486L460*W464*H635
電極分布扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染
低溫源(有機/氧化物等)數量最多6個蒸發源最多9個蒸發源最多13個蒸發源
低溫源溫度范圍室溫~600°C室溫~600°C室溫~600°C
低溫源切換PC控制/手動PC控制/手動PC控制/手動
高溫源(金屬)數量1~3可選1~4可選1~6可選
基片臺(樣品架)方案一φ161mm,圓形φ224mm,圓形φ287mm,圓形
基片臺(樣品架)方案二80*80mm,方形110*110mm,方形150*150mm,方形
基片臺(樣品架)加熱常溫/加熱,加熱可選配室溫~400℃或室溫~200℃溫控范圍
基片臺(樣品架)高度樣品架與源表面距離:≤330mm;裝片方式:側插方式
樣品托及掩模版70×70mm,可放置65×65mm樣品100×100mm,可放置90×90mm樣品134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品
參數/規格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
基片臺擋板程控,氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠程控,氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠程控,氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠
基片臺升降固定間距或0~30mm可調固定間距或0~50mm可調固定間距或0~70mm可調
基片尺寸≤30×30mm≤30×30mm≤30×30mm
膜厚不均勻性≤5%≤5%≤5%
備用接口466
門板控制手動/自動/手自一體手動/自動/手自一體手動/自動/手自一體
系統控制PC軟件;速率自動控制,功率控制,溫度控制。PC軟件;速率自動控制,功率控制,溫度控制。PC軟件;速率自動控制,功率控制,溫度控制。
蒸鍍過程控制各操作環節,掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成各操作環節,掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成各操作環節,掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成
總功率≥5KW≥8KW≥10KW
抽氣速率5.0×10-2Pa≤5min5.0×10-2Pa≤8min5×10-2Pa≤10min
極限真空優于4.0×10-5Pa優于4.0×10-5Pa優于4.0×10-5Pa
漏率≤6.5×10-8Pa·L/S≤6.5×10-8Pa·L/S≤6.5×10-8Pa·L/S
工作真空≥5×10-4Pa,從大氣到工作真空時間≤30min
系統保壓系統抽到極限后,停泵關機12小時后,系統真空度保持≤2Pa
參數/規格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
分子泵類別油/脂潤滑、磁懸浮可選油/脂潤滑、磁懸浮可選油/脂潤滑、磁懸浮可選
冷卻系統搭配循環水冷卻搭配循環水冷卻搭配循環水冷卻
循環水參數

≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1%

≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1%


≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1%
掩膜庫一4位4位4位
掩膜庫二6位6位6位
掩膜庫8位8位8位
真空系統分子泵+機械泵,PC軟件控制分子泵+機械泵,PC軟件控制分子泵+機械泵,PC軟件控制
蒸發電源

控制方式:恒流模式;

數量:按客戶要求;

功率:600W,1200W,1500W可選;

精度:程控精度為量程的0.01%。

控制方式:恒流模式;

數量:按客戶要求;

功率:600W,1200W,1500W可選;

精度:程控精度為量程的0.01%。

控制方式:恒流模式;

數量:按客戶要求;

功率:600W,1200W,1500W可選;

精度:程控精度為量程的0.01%。

典型:金屬源×4套,有機源×4套,內門,外門下方各放兩只有機源,左右各放兩只金屬源;有機源可開艙調整角度,帶有標尺,范圍豎直到指向樣品中心。
真空保持12小時≤2Pa12小時≤2Pa12小時≤2Pa
系統保護氣壓、高壓保護,控制系統全程即時報警氣壓、高壓保護,控制系統全程即時報警氣壓、高壓保護,控制系統全程即時報警
參數/規格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
氣路控制超高真空氣動電磁閥超高真空氣動電磁閥超高真空氣動電磁閥
電氣柜與系統一體式集成化,節省空間與系統一體式集成化,節省空間與系統一體式集成化,節省空間
腔室測溫可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值
膜厚儀腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀;可選國產或進口監測控制儀腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀;可選國產或進口監測控制儀腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀;可選國產或進口監測控制儀
真空計顯示范圍1.0×105Pa~1.0×10-5Pa1.0×105Pa~1.0×10-5Pa1.0×105Pa~1.0×10-5Pa
機架進口鋁型材組裝,整體簡潔大方進口鋁型材組裝,整體簡潔大方進口鋁型材組裝,整體簡潔大方
顯示屏搭配工業級屏幕支架,可任意角度旋轉及隨意升降,滿足不同用戶的舒適要求搭配工業級屏幕支架,可任意角度旋轉及隨意升降,滿足不同用戶的舒適要求搭配工業級屏幕支架,可任意角度旋轉及隨意升降,滿足不同用戶的舒適要求






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