特點：
★ 測量溫度寬，控溫精度高
★ XYZ三軸方向移動，定位精度高
★ 真空漏率優秀，真空度高
★ 精密小巧，易于搬運
用途：
探針臺測試儀，用于芯片，氣敏元器件等在不同氣氛環境下電學性能，也可用于材料分析。廣泛應用于半導體電學性能測試、物理研究，氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領等系統中的重要部件。
產品規格參數：
項目 | 訂貨代碼 | VS21-4 VS21-6 |
主體 | VS21-4 | 腔體材質： AL6061(可定制SUS304腔體) |
VS21-6 | ||
探針組件 （單組價格） | Q2 | 氣密型同軸接口探針夾具（普通型） |
Q3 | 氣密型三軸接口探針夾具（抗干擾性強，應用于半導體） | |
V2 | 真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時選擇） | |
V3 | 真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強，應用于半導體，需要抽真空時選擇） | |
探針規格 | 000T | 鍍金，50μm(可選：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針。 |
信號線纜 | R1 | 單頭甩空線 |
R2 | 雙頭線 | |
位移座 | ST | XYZ三軸位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm） |
高低溫控制系統 | H | 高溫控制器:常溫～450℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（進口溫控） |
L | 低溫控制器:-194℃～0℃，控制精度±0.25℃ | |
真空系統 | MP | 機械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計） |
TP | 分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa) 復合真空計（Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用 不銹鋼材質，才能抽到高真空 | |
顯微鏡 | PM | 體式顯微鏡:ZOOM645S（環形光源） |
CM | CCD：200萬像素 | |
DP | 戴爾顯示器：21寸 | |
SJ | 視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬像素） | |
附件 | D20 | 液氮杜瓦罐:20L（溫度控制在-196℃-室溫可控） |
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