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無掩模光刻機

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托托科技是一家是專注于光學顯微加工及檢測的光學設備制造廠商。目前公司擁有五個核心產品線:

(A)無掩膜光刻機

(B)磁學產品

(C)多模態光電顯微鏡

(D)超高精度3D打印

(E)3D顯微鏡

已經形成了集設計、研發、制造、銷售及客戶咨詢服務為一體的高科技企業,致力于給客戶提供技術支持,以專業技術和細致設計造就高品質,以耐心服務和企業擔當贏得良好口碑。

公司旗下產品的品牌名稱為TuoTuo,擁有中國及新加坡兩個研發中心,其中托托科技(蘇州)是中國區業務的運營主體,TuoTuoTechnology(Singapore) Pte.Ltd. 是國際業務的運營主體。




無掩膜版紫外光刻機,超高精度3D光刻產品,形貌表征產品,光電光譜分析產品,3D成像顯微物鏡,磁光電聯合分析

托托科技推出的無掩模光刻機采用前沿的技術,提供了多種型號以滿足不同的需求。這些光刻機基于空間光調制器原理,擺脫了傳統實體掩模的限制,以其高精度、高效率和高靈活性而受到用戶的青睞。我們主要應用于科學研究、小批量多種類的生產等領域,如掩模版制造、二維材料器件、微流道芯片和MEMS器件等。托托科技的光刻機產品線包括多個版本可供選擇: 

科研版(ACA系列):此型號基于空間光調制技術,實現了數字掩膜光刻。它具有長壽命、高功率的紫外光源,設備穩定且操作簡單。其特色功能包括原位光繪和交互式套刻指引,使得光刻和套刻更加精準和容易。 

教育版(Young):這是一款桌面型無掩膜光刻機,靈活小巧,非常適合用于微電子、集成電路等領域的實驗課程。 

高速版(Speed):這個版本具備更快的加工速度和更強的設備性能,適用于小批量生產制造。 


托托科技的無掩模光刻機具有多種優勢,如無需掩模版的靈活性、高加工精度(可達400 nm)、高速度(可達1200 mm2/min)以及大加工幅面(可達2 m2)。此外,我們還提供了4096階的灰度光刻能力,能夠構建出具有高度復雜且細膩層次變化的微觀結構或圖案。 


托托科技的光刻機憑借其性能和靈活的技術,在多個高科技領域得到了廣泛應用。無論是二維材料的精準加工、微流控芯片的復雜制作,還是MEMS器件的精細制造,托托科技的光刻機都能提供高效解決方案。同時,它在微透鏡、光學衍射器件、浮雕結構、超表面以及量子光學等前沿領域也展現出強大的應用潛力,為科學研究和技術創新提供了有力支持。



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