二手FIB+雙束FIB+場發射電鏡應用范圍+領域+分析要領

1. FEI Helios400/450：FEI Helios NanoLab 400S是一款能夠進行高級成像和樣品制備的雙束系統，它結合了場發射掃描電子顯微鏡和聚焦離子束

   系統適用于固體材料的多種先進成像和制備技術，包括無需破真空的TEM樣品制備（正常和背面銑削）、STEM成像在薄TEM樣品上、針制備用于斷層掃描、平面視圖制備以及在加熱芯片上制備用于TEM退火實驗的薄片。
   

   
   

   2. FEI FEI Strata400：FEI Strata 400是一款DualBeam™系統，用于高分辨率、高對比度成像和樣品制備。它集成了場發射掃描電子顯微鏡柱和聚焦離子束柱，具備完整的原位樣品制備能力，能夠制備TEM樣品而不破真空。適用于有機、無機和新型材料，這些材料不適合傳統的SEM和TEM樣品制備方法。
   
   3. Quanta600F：FEI Quanta 600 FEG是一款場發射環境掃描電子顯微鏡，具備高真空模式、低真空模式和環境真空模式下的分辨率，以及高加速電壓和最大束流等特性。它主要用于固體樣品表面形貌分析以及半定量元素分析。
   
   4. FEI FIB200：FEI FIB 200-M使用Magnum離子柱，該離子柱的銑削能力是早期預透鏡FIB柱的兩倍。這款FIB用于電路編輯（正面和背面）、缺陷和失效分析、TEM薄片制備、納米制造、納米原型制作和MEMS。

   
   

2. 

二手FIB+雙束FIB+場發射電鏡 FIB雙束掃描電鏡參數：

發射源：高穩定型肖特基場發射電子槍

分辨率：
☆工作距離下1.4nm（1keV）

電子束參數：
☆探針電流范圍：1pA – 400nA
☆加速電壓范圍：200V ~ 30kV
☆著陸電壓范圍：20eV ~ 30keV
☆導航蒙太奇功能，可額外增大視場寬度

離子光學：
大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍：500v-30kv
離子束流范圍：1.5pA-65nA
15孔光闌
不導電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000h
離子束分辨率30kv下3.0nm

樣品室：
☆電子束和離子束重合點在分析工作距離處（SEM7mm）
☆端口：21個
☆內寬：379mm

樣品臺：靈活五軸電動樣品臺
☆XY范圍：110mm
☆Z范圍：65mm
☆旋轉：360° 連續
☆傾斜：-15°到+90°
☆大樣品尺寸，直徑110mm，可沿X、Y軸*旋轉時
☆大樣品高度，與優中心點間隔為85mm
☆大樣品質量 5 kg（包括樣品托）
☆同心旋轉和傾斜

樣品托：
☆標準多功能樣品托，以*方式直接安裝到樣品臺上，可容納18個標準樣品托架（φ12mm）、3個預傾斜樣品托、2個垂直和2個預傾斜側排托架（38°和90°），樣品安裝無需工具

探測器系統：可同步檢測多達4中信號
☆樣品室二次電子探測器ETD
☆鏡筒內背散射電子探測器T1
☆鏡筒內二次電子探測器T2
☆鏡筒內二次電子探測器T3（可升級）
☆ IR-CCD紅外相機（觀察樣品臺高度）
☆ 可用于圖像導航的彩色光學相機Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉換和電子探測器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器DBS
☆ 電子束流測量