Edwards 愛德華IXH1210干式真空泵維修保養Edwards愛德華***干式半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和xing能。? edwards iXH 系列干泵產品是 Edwards 的市場 iH 產品的換代升級，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程可靠xing實現低擁有成本。可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業中日益提高的氣體流量要求的大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有大可靠xing。? Edwards 愛德華IXH1210干式真空泵維修保養Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵產品型號：IXH100、 IXH200、 IXH200H、 IXH500H、 IXH500Q 、IXH610、 IXH645H、 IXH1210、 IXH1210H、 IXH1220H、 iXH1220HTX、iXH1820、 iXH1820T、iXH1820H、?iXH6045HT、IXH3030T、IXH3045H、IXH4545HT、,IXH4550、IXH3030,愛德華IXH系列半導體干式真空泵維修保養