mfc300 熱式氣體質量流量控制器
參考價 | ¥ 4600 |
訂貨量 | ≥5只 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號 mfc300
- 產地 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導體智能制造創新港
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/2/11 11:48:32
- 訪問次數 108
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
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價格區間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體 |
應用領域 | 環保,化工,生物產業,能源,制藥 |
MFC300熱式氣體質量流量控制器 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應
高重復性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
TECHNICAL PARAMETERS
技術參數
主要參數
- 介質要求潔凈干燥無腐蝕性氣體
- 氣體種類Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
- 測量和控制范圍0.2%-100%F.S. (1:500)
- 準確度±0.5%F.S.
- 重復精度±0.5%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
- 傳感器響應時間5ms
- 控制響應時間300ms
- 預熱時間≤1s
- 閥門常閉式