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化工儀器網>產品展廳>常用儀表>自動化儀表>過程儀表> 晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

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晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

參考價 30000
訂貨量 ≥1
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我公司代理進口品牌多年,有兩大業務:horiba質量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。暢銷的質量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產商,有多個自主品牌:MagnehelicFlotectMercoidLove,主要產品有:差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa2000-60pa2000-25MBAR2000-3KPA2000-1000PA;數顯變送器MS-111MS111LCDMS121LCDMS311LCDMS141LCD;防爆差壓開關1950-1-2F1950-5-2F1950-20-2F1950G-1-2F-241950-0-2Fflotect流量開關V4-2-UV6EPBBS1BATV6EPBBS3BATV6EPBBSLFflotect液位開關L6EPBBS3CCSA;風速變送器641-6-LED641-12-LED641RM-12-LED;轉子流量計RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APFRMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPFRMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPFVFA-2-BV;高低壓報警開關A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC3000MR-500PA3000MR-60PA3000MR25MM;防爆差壓開關AT23000MRAT21910AT21823AT2MSAT21640AT11910AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等;韓國TKSUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應用于電子半導體,太陽能,暖通,空調,食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環境監測,工業制造和實驗室等領域。



氣體質量流量計,熱式質量流量計,熱式質量流量控制器,液體質量流量計,液體質量流量控制器,壓力調節閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機

應用領域 能源,電子/電池,汽車及零部件 介質 He, Ar, N2
壓力控制范圍 10 Torr, 20 Torr,5Ttorr 流量 100sccm
輸出信號 0-5V 電源 ±15VDC
接口 1/4VCR

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

控制壓力10torr、20torr、50torr


晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F又稱壓力自動調節閥,

用于半導體晶圓生產中晶圓背面的微小壓力控制,實現冷卻系統的冷卻功能,減少晶圓的熱損傷。

 

 晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F是壓力控制器GR500F系列中的熱門型號,是壓力自動調節閥GR-312F的升級產品,穩定性更好,滿足晶圓生產中更嚴格的工藝要求。


晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F最小壓力控制器可以到1.3kpa.


特征

  • GR-511F是GR-312F的升級產品,Wafer背壓控制;

  • 壓力控制更穩定、精度0.5%

  • 可選擇流量信號反饋;

  • RoHS 認證



技術參數

 

型號

GR-511F

閥門類型

C: 常閉

泄漏率

≤ 7 ×   10-11 Pa·m3 /s (He)

工作壓力上限

300   kPa (A)

耐壓

350   kPa (A)

工作溫度

5-50   °C (Accuracy guaranteed temp : 15-40 °C)

電源

+15   VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA

功率

7.5 VA

輸出信號

Analog

氣體 *1

He,   Ar, N2

接口

1/4   inch VCR

壓力量程

1.333   kPa (A) (10 Torr),

2.666   kPa (A) (20 Torr),
  6.666 kPa (A) (50 Torr)

壓力控制范圍

1-100   %F.S.

精度 *2

±0.5   %R.S.

零點/溫度系數

±0.04   %F.S./°C

量程/溫度系數

±0.04   %R.S./°C

相應時間*3

≤ 1   sec

輸入模擬信號

0.1-10   VDC (1-100 %F.S.) Input impedance ≥ 1 MΩ
  Option:0.05-5 VDC (1-100 %F.S.) Input impedance≥ 1 MΩ

輸出模擬信號

0-10   VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ
  Option:0-5 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ

流量滿量程 *1

20,   50, 100 SCCM

流量精度 *4 *5

±1   %R.S. (Flow rate > 25 %F.S.)
  ±0.25 %F.S. (Flow rate ≤ 25 %F.S.)

流量輸出信號

0-5   VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ

材質

SUS316L

安裝方向 *6

Free

重量*7

1.5 kg












實物圖片

GR-511F、IGS接口14C3


晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F




應用案例

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F



熱門型號:GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。


周邊產品

  horiba質量流量控制器,熱門型號

SEC-Z717SMGC、SEC-Z727SMGC、SEC-Z717MGC、SEC-Z717MGC、


HORIBA 是氣體和液體質量流量控制器制造商之一,擁有一系列模擬、數字和高溫質量流量控制器以及使用點液體源汽化控制和輸送系統。

HORIBA 可以為您的涂層工藝生產線提供穩定的控制,如化學氣相沉積 (CVD),原子層沉積 (ALD),金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD) PVD (物理氣相沉積),等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 和金剛石沉積或金剛石涂層 (DLC)。我們的產品提供全面的流體控制和過程監控,以提高產量,增加吞吐量,并為您的涂層過程提高效。


本公司同時提供日本HORIBASTEC的質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器、耐腐蝕質量流量控制器、數字壓力自動調節閥、壓力控制器、薄膜硅真空計、汽化器、殘余氣體分析儀。









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