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爐管清洗設備 精準去污 蘇州芯矽科技

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

產品細節

支撐與轉動機構:設備內部設有堅固的支撐機構,用于穩定爐管。在支撐機構內側,配備了專門的轉動機構,能夠帶動爐管進行緩慢而穩定的旋轉。這種旋轉設計確保了清洗過程中爐管內壁的各個部位都能得到均勻且充分的清洗,避免了局部清洗殘留污漬的問題。

清洗機構:位于轉動機構上側的清洗機構是設備的核心部分。它采用多種清洗技術,如高壓噴淋系統,能夠將清洗液以高速噴射到爐管內壁;同時結合超聲波清洗技術,利用高頻振動使污垢從管壁上剝離,大大提高了清洗效果。此外,還可能配備有特殊的刷洗裝置,對于一些頑固的污漬能夠進行針對性的刷洗。

動力提供:為整個設備提供動力的是可靠的動力系統,通常采用高性能的電機,確保轉動機構和清洗機構能夠穩定運行。動力系統的功率和轉速等參數經過精心設計和調試,以滿足不同類型爐管清洗的需求。

爐管清洗設備 精準去污  蘇州芯矽科技

參數表

參數項目數值范圍備注
清洗管徑范圍8/12 寸可適用于不同尺寸的石英管、SIC 管等
清洗溫度范圍室溫 - 110°C根據不同的清洗工藝和材料要求可調節
清洗時間設定可自定義可根據污染程度和清洗要求進行調整
清洗壓力范圍0 - 5MPa可根據實際需求進行調節
電源要求AC 380V±10%,50Hz確保設備正常運行所需的電壓和頻率
功率根據不同型號有所差異,一般在數千瓦范圍內具體功率取決于設備的規格和配置
外形尺寸長×寬×高約為[X]mm×[Y]mm×[Z]mm根據設備的具體設計而定
重量[具體重量]kg包括設備主體和配件的總重量

型號

立式爐管清洗機:具有占地面積小、清洗效果好、操作方便等優點,適用于各種規模的生產線。其旋轉 + 噴淋清洗方式,結合控制系統,能夠實現高效、穩定的清洗過程。

臥式爐管清洗機:在一些特殊的應用場景下,臥式爐管清洗機更具優勢。例如,對于較長的爐管或需要與其他設備配套使用的情況,臥式清洗機可以更好地滿足需求。它的結構設計更加緊湊,方便與生產線中的其他設備進行集成。




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