產地類別 | 國產 | 應用領域 | 生物產業,石油,能源,電子,綜合 |
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MIPC1000多功能等離子清洗儀,專門針對SEM/TEM等各類表面/微觀分析設備開發,能夠有效去除樣品/樣品桿表面污染物,防止碳沉積帶來圖像分辨率降低及對樣品微區成分分析造成誤判,同時可改善樣品表面親水性。該系統配備7英寸超大清洗樣品桿,同時清洗多個樣品,利用快旋頭設計,可滿足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各類真空腔體清洗,提升儀器分析準確性。
MIPC1000多功能等離子清洗儀最多可配備四路氣體進氣系統,搭配高精度質量流量計(MFC),可實現任意比例氣體混合,從而實現不同工藝氣體清洗需求。通過配備的7英寸觸屏控制系統,能夠實現清洗配方的建立和存儲,可實現一鍵完成樣品清洗。 Downstream過濾電場能夠過濾傳統等離子體中離子/電子成分,僅利用低能自由基進行清洗,能夠去除濺射損傷、熱效應及刻蝕效應對樣品微觀結構和成分的破壞。滿足各類真空設備樣品/樣品艙清洗,同時可對電鏡光闌、各類真空部件進行清洗,滿足各種清洗需求。
技術優勢
◆ 多功能:具備在線腔體清洗和獨立清洗功能;
◆ 高效性:ICP誘導激發,清洗范圍廣;
◆ 超高真空清洗:<5mTor ~ 2Tor ;
◆ 清洗功率范圍大:0-100W ;
◆ 清洗柔和:Downstream設計,無濺射效應, 無熱效應;
◆ 可同時清洗/存儲兩根透射電鏡樣品桿;
◆ 擴展性好:采用快旋頭,等離子發生器,可輕松對各類真空腔體進行清洗;
◆ 超大清洗樣品艙:直徑7英寸X7英寸高;
◆ 能夠碳膜清洗,增加增加碳膜親水性;
◆ 觸屏控制:7英寸觸屏,配方式操作。
主要應用
◆ FIB/SEM/TEM/Nano Probe
◆ XPS/GC/SIMS
◆ Synchrotron Radiation
◆ 各類真空腔體清洗
◆ 各類分析設備樣品清洗
MCA實機圖
碳膜清洗夾具