TESCAN   聚焦離子束掃描電鏡  聚焦離子束掃描電子顯微鏡

雙束聚焦掃描電鏡FIB-SEM

FIB-SEM

雙束電鏡（FIB-SEM）是一款集成了電子束和離子束的電子顯微鏡系統。SEM 鏡筒提供高分辨成像能力，FIB 鏡筒能在成像的同時對樣品進行加工處理。雙束電鏡系統開創了一種全新的應用方式。

雙束電鏡系統的配置使得電子束和離子束的聚焦點重合，這在很多應用中可以獲得良好的結果。這一特點也使得儀器在完成 FIB 銑削任務的同時，可以進行 SEM 實時成像----這對于精度要求非常高的 FIB 操作有很大幫助，使得操作性能和工作效率實現重大飛躍。

TESCAN 提供兩種不同的 FIB 離子源：鎵離子和氙等離子體。Ga 離子源 FIB 適用于所有在制造和納米加工中需要高精度的應用。另一方面，Xe 等離子體 FIB 具有超高離子束流，能夠以高于 Ga-FIB 50倍的效率去除大量材料。在精度方面，我們的高分辨率 Xe 等離子 FIB 可以實現< 15 nm的分辨率，適用于同時要求高效率和高精度的精細加工任務。

主要型號：

TESCAN AMBER

TESCAN SOLARIS

TESCAN AMBER X

TESCAN SOLARIS X

我們提供多種配置的 FIB-SEM 系統，能夠滿足從常規工業應用到具有挑戰性的工藝應用，這些應用要求在成像和微/納米機械的復雜工作流程方面達到很高的標準。