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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>其它薄膜沉積設備>FPKOR-HEX-PVD 臺式薄膜沉積系統PVD系統

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FPKOR-HEX-PVD 臺式薄膜沉積系統PVD系統

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薄膜沉積系統

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上海富瞻環保科技有限公司坐落于上海這座大都市東方明珠腹地,主要從事環保類儀器、衛生防疫檢驗檢疫儀器設備的研發、創新、生產、定制服務,可以滿足客戶科研、勞保、防疫、衛生環境、水文、地理、應急、環保等多方面檢測的需要,做好售后。

電子鼻技術,連續自動惡臭監測系統和便攜式(手提式)惡臭檢測儀,先后開發了異味、電子鼻、惡臭檢測儀、空氣污染物檢測站等系列產品。

公司熱忱期待和八方來客洽談合作大計!富瞻專注于儀器研發、創新、非標化個性化特殊定制。涉及到的部分產品如下:


我們和國內外品牌都有合作,竭誠為您服務!

實驗室儀器

食品分析

耗材試劑

水質檢測

氣體檢測

傳感器

氣象檢測

過程儀表

輻射放射

哈希、梅特勒、梅思安、華瑞、安東帕、PE、賽默飛、馬爾文、艾卡、美墨爾特...........

惡臭氣體分析儀

熏蒸氣體檢測儀

消毒殺菌氣體檢測儀

室內氣體檢測儀

酸霧檢測儀

機動車尾氣分析儀

天然氣/煤氣/沼氣垃圾氣分析儀

煤氣/天然氣熱值儀

餐飲油煙檢測儀

公共安全衛士環境應急檢測儀

環境大氣污染物檢測儀

移動式大氣環境污染物分析儀

非甲烷總烴檢測儀

TVOC/VOC/VOCs檢測儀

惡臭微型站

惡臭在線分析系統

在線油煙監測儀

垃圾臭味監測系統

有毒有害氣體變送器

在線尾氣廢氣煙氣氣體監測儀

工業流程氣分析儀

非甲烷總烴檢測儀

TVOC/VOC/VOCs檢測儀

在線多氣體分析儀

微型空氣質量監測站

毒劑在線檢測儀

公共安全衛生環境監控系統

酸霧監控系統

環境衛生監控設備

 

室內空氣苯系物檢測儀

大氣氯苯污染分析儀

環境大氣有機苯測試儀

PID檢測儀

苯乙烯測試儀

三苯氣體檢測儀

異丙苯分析儀

VOC檢測儀

非甲烷總烴分析儀

環境大氣污染源監測儀

酚類氣體探測儀

總酚探測器

醛類探測儀

大氣復合污染檢測儀

無組織排放源污染檢測儀

工業有毒有害氣體測試儀

工業窯爐鍋爐煙氣儀

機動車尾氣廢氣分析

大氣有機污染分析儀

車載環境大氣粉塵儀分析儀

光化學污染測定儀

空氣污染源監測儀

車載大氣環境綜合分析儀

非標定制污染氣體檢測儀系統

溫室效應氣體分析儀

工業安全應急檢測儀

流動空氣污染源追溯儀

面源污染檢測儀

廠界污染測試儀

沼氣分析儀

生物制氣測試儀

環境惡臭檢測儀

臭氣濃度儀

熏蒸消毒氣體檢測儀

熏蒸氣體殘留測試儀

網格化大氣環境檢測儀

小型大氣監測站

流動式環境大氣污染分析儀

 

 

 

水分儀、活度儀、氣體檢測、氣體報警、粉塵儀、水質分析儀器、酒精濃度儀

臺式薄膜沉積系統PVD系統


臺式薄膜沉積系統為是模塊化的PVD系統,為您的研究和實施應用提供了多種沉積選項。可裝配電子束蒸發源E-beam,ORCA低溫蒸發源,熱蒸發源,磁控濺射等。

臺式薄膜沉積系統為是模塊化的PVD系統,為您的研究和實施應用提供了多種沉積選項。可裝配電子束蒸發源E-beam,ORCA低溫蒸發源,熱蒸發源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統是研究和開發的理想選擇,因為它具有模塊化的特性。所有基本元件都可以訪問,允許對各種組件進行測試,并對幾種薄膜沉積技術中涉及的工藝進行探索,包括:表面分析樣品制備,濺射,熱蒸發,有機物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括:金屬和光刻膠剝離工藝,EM樣品制備,新型涂料研發,磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號,在必要時升級到*高級別的組件,這些升級是模塊化的,安裝簡單,減少了系統停機時間和安裝成本。

臺式薄膜沉積系統PVD系統

臺式薄膜沉積系統配有一個80升/秒的泵,可實現高達8×10^-7毫巴的基本真空,并可實現高至100毫米的樣品尺寸。該系統還配有一個多樣品支架,可同時容納幾個較小的樣品。
臺式薄膜沉積系統可升級300升/秒的泵,可實現4×10^-7毫巴的基本真空。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室,其空間可容納多達150毫米的樣本,或多個較小的樣本。
臺式薄膜沉積系統由一個六面鋁框架高真空室組成,該室重量輕,但足夠堅固,適用于大多數物理氣相沉積應用。

六邊形結構支撐六塊模塊化面板,包括:空白面板,“視口"面板,沉積源面板,PLD儀表過程控制面板,包括質量流量控制器和厚度控制,用于現場監測的QCM面板該設計使用標準化配件,包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標準化使切換面板和根據特定應用調整系統變得簡單。模塊化設計還使維護和重新配置*快、*高效。


臺式薄膜沉積系統PVD系統




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