CY-RTP1000-Φ300-T 1200℃RTP退火爐
參考價 | ¥ 13300 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-RTP1000-Φ300-T
- 產地 河南省鄭州市高新區
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/18 9:17:51
- 訪問次數 75
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簡單介紹:
1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現真正的基底溫度測量,不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇
詳情介紹:
技術特色:
• 真正的基片溫度測量,無需傳統的溫度補償
• 紅外鹵素管燈加熱
• 極其優異的加熱溫度**性與均勻性
• 快速數字PID溫度控制
• 不銹鋼冷壁真空腔室
• 系統穩定性好
• 帶觸摸屏的PC控制
• 兼容常壓和真空環境,真空度標準值為5×10-3Torr,采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr
• *高3路氣體(MFC控制)
• 沒有交叉污染,沒有金屬污染
技術參數:
產品名稱 | 1200℃RTP退火爐 |
產品型號 | CY-RTP1000-Φ300-T |
基片尺寸 | 12英寸 |
基片基座 | 石英針(可選配SiC涂層石墨基座) |
溫度范圍 | 150-1200℃ |
加熱速率 | 10-150℃/S |
溫度均勻性 | ≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer) ≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor) |
溫度控制精度 | ≤ ±3℃ |
溫度重復性 | ≤ ±3℃ |
真空度 | 5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr |
氣路供應 | 標準1路N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路) |
退火持續時間 | ≥10min@1200℃ |
溫度控制 | 快速數字PID控制 |
尺 寸 | 890mm*950mm*1400mm |