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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>CY-RTP1000-Φ300-T 1200℃RTP退火爐

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CY-RTP1000-Φ300-T 1200℃RTP退火爐

參考價 13300
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號 CY-RTP1000-Φ300-T
  • 產地 河南省鄭州市高新區
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/12/18 9:17:51
  • 訪問次數 75

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


鄭州成越科學儀器有限公司位于鄭州市*開發區,是一家專業從事材料制備設備研發、生產和銷售為一體的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結設備、氧化鋯生物陶瓷燒結、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結、稀有金屬的區域提純等研究發展方向。

鄭州成越科學儀器有限公司的研發團隊憑借自身在熱處理技術方面的專業知識和豐富的實踐經驗,先后研發出了多款*材料制備設備。主要產品有:微波燒結爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應爐、氧化鋯燒結爐、熒光粉燒結爐、晶體退火爐、電池材料燒結爐、旋轉管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產品還有:等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會各界的關心支持下,公司不斷發展壯大,與國內外多所高校和科研單位建立起了合作關系;公司還聘請了多位國內外重點高校的教授,博導為公司常年的技術顧問,他們時刻與國內外學術界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導產品的生產和研發,使我公司的產品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關的新產品。產品遠銷歐美、日韓等國家,并在國內外市場獲得業界*好評。

如果您正在被國貨的產品質量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業的技術團隊為您量身定做!如果您正在為故障設備的售后無人理會而發愁,選擇我們一切的問題將由我們負責到底。鄭州成越科學儀器有限公司的誠信、實力和產品質量獲得業界的認可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導和業務洽談。


管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機,切斷機,拋光機

簡單介紹:

1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現真正的基底溫度測量,不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇


詳情介紹:

  • 一些高溫陶瓷材料的燒結后處理可以使用 1200℃RTP 退火爐。例如,氧化鋁(Al?O?)陶瓷在燒結過程中可能會出現殘余應力,1200℃快速退火能夠有效消除這些殘余應力,提高陶瓷材料的機械性能,如強度和韌性。同時,對于含有添加劑的陶瓷材料,退火過程還可以促進添加劑在陶瓷基體中的均勻分布,進一步改善陶瓷的性能。

  • 在某些金屬合金的熱處理中,1200℃RTP 退火爐也有應用。例如,對于一些高溫合金,在熔煉和成型后,1200℃的快速退火可以調整合金的組織結構,細化晶粒,提高合金的高溫性能,如高溫強度和抗蠕變性能。


技術特色:

• 真正的基片溫度測量,無需傳統的溫度補償

• 紅外鹵素管燈加熱

• 極其優異的加熱溫度**性與均勻性

• 快速數字PID溫度控制

• 不銹鋼冷壁真空腔室

• 系統穩定性好

• 帶觸摸屏的PC控制

• 兼容常壓和真空環境,真空度標準值為5×10-3Torr,采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr

• *高3路氣體(MFC控制)

• 沒有交叉污染,沒有金屬污染

  技術參數:

產品名稱

1200℃RTP退火爐

產品型號

CY-RTP1000-Φ300-T

基片尺寸

12英寸

基片基座

石英針(可選配SiC涂層石墨基座)

溫度范圍

150-1200℃

加熱速率

10-150℃/S

溫度均勻性

≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer)

≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

溫度控制精度

≤ ±3℃

溫度重復性

≤ ±3℃

真空度

5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

氣路供應

標準1路N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路)

退火持續時間

≥10min@1200℃

溫度控制

快速數字PID控制

尺  寸

890mm*950mm*1400mm


相關分類

氧化擴散設備


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