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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>紫外臭氧清洗儀> 無金屬污染循環式臭氧水生成裝置

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無金屬污染循環式臭氧水生成裝置

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南京博創半導體設備有限公司成立于2019年主體經營:1.半導體制造相關設備:鍵合/解鍵合設備/晶圓清洗設備/涂膠設備/剝離設備2.半導體用高清潔傳送設備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設備:8寸/12寸全自動量產設備和R&D研發設備4.FDP/PLP設備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設備5.UV系列產品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(新港開發區)恒泰路6號



172nm準分子,臭氧發生器,照度計,Robot,EB照射器

產地類別 進口 應用領域 環保,化工,綜合

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無金屬污染循環式臭氧水生成裝置采用循環方式存水?棄水非常少濃度上升快(1分鐘內生成臭氧水)根據清洗工藝可生成穏定濃度流量的臭氧水 無金屬汚染臭氧水采用自主研発技術,生成適用於半導體清洗的臭氧水小型化?重量輕?無需冷卻水外形尺寸611W×590D×1317H, 重量約87kg搭載散熱器

無金屬污染循環式臭氧水生成裝置臭氧発生方式無聲放電法冷卻方式 空冷溶解法 射流方式臭氧水濃度測定 內蔵 紫外線式臭氧水濃度計臭氧水濃度 MAX 60ppm MAX 80ppm臭氧水水流量 MAX 7L/min MAX 50L/min外寸 611W×590D×1317H -重量 87Kg -消費電力 1kW -原料氧氣條件 圧力0.3MPa 純度99.5%(添加CO2或者N2)原料水條件 超純水?純水?市水 0.25MPa原料水溫度 25℃以下互鎖關系 漏水, 內部圧力異常, 臭氧泄漏,臭氧発生器異常




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