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水平爐管清洗機|蘇州芯矽電子科技

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

水平爐管清洗機是一種專門用于清洗石英爐管或石英舟的設備,廣泛應用于半導體制造、光學鍍膜和材料科學研究等領域。以下是關于水平爐管清洗機的詳細介紹:

一、設備概述

水平爐管清洗機通過浸泡、旋轉和噴淋等方式對爐管內壁進行高效清洗,以去除顆粒、有機物、金屬離子等污染物。其結構主要由清洗槽、溢流排放槽、本體、工件支撐及旋轉驅動機構、排風系統、給排水系統及電器部分構成。該設備具有自動化程度高、操作簡便、清洗效果好等優點。

二、主要特點

自動化程度高:設備采用PLC控制,可實現自動運行,無需人工干預,大大降低了人力成本,同時提高了生產效率。

清洗效果好:通過浸泡、旋轉和噴淋等多種方式相結合,能夠去除爐管內壁的污染物,確保清洗效果。

操作簡便:設備設計人性化,操作界面友好,易于上手。同時,設備還具備故障自診斷功能,方便用戶及時排除故障。

安全可靠:設備采用多重安全保護措施,如漏電保護、過載保護等,確保操作過程的安全可靠性。

節能環保:在清洗過程中,設備采用節能技術,降低能耗,同時減少廢水、廢氣等污染物的排放,符合綠色環保理念。

三、應用領域

水平爐管清洗機廣泛應用于以下領域:

半導體制造:用于清洗半導體制造過程中使用的石英爐管,確保爐管的清潔度,提高芯片的良率和性能。

光學鍍膜:在光學鍍膜過程中,爐管的清潔度直接影響到鍍膜的質量。水平爐管清洗機能夠有效去除爐管內的污染物,保證鍍膜質量。

材料科學研究:在材料科學研究中,需要對爐管進行嚴格的清洗,以確保實驗的準確性和可靠性。水平爐管清洗機能夠滿足這一需求。

四、技術參數(示例)

電源:AC 380V 三相五線制

總功率:約25KW

外形尺寸:長寬高 600016001800mm(不含尾氣塔)

清洗對象長度:2000mm

清洗對象外徑范圍:Ф10~Ф150mm

旋轉速度:變頻調速,0~30轉/分可調

裝料高度:≤700mm

排水口:DN25

進水口:DN20

節拍時間:<120S/籃(含液位等待時間)

單次處理量:1件Φ150以內,長度≤2000mm的石英爐管或2件石英舟(極大限額)



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