PDS 2035CR沉積系統(tǒng)特征包括:

基于Windows®的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及15寸液晶顯示器圖形化用戶界面涂敷參數(shù)的輸入，監(jiān)視和診斷報(bào)告可編程作，無限制的涂敷工藝程序儲(chǔ)存精確的計(jì)算機(jī)處理所有的加工參數(shù)用于純凈車間的遙控電腦控制觸摸屏雙控制安全保護(hù)裝置雙通道腔室，用于在純凈室內(nèi)裝載工件而從潔凈室外部對(duì)沉積腔進(jìn)行清潔和維護(hù)UPS后備電源預(yù)防在工作周期中電源斷電對(duì)涂敷產(chǎn)品造成損壞

內(nèi)置的機(jī)械制冷系統(tǒng)

PDS 2035CR沉積系統(tǒng)規(guī)格:

系統(tǒng)尺寸 ：

長x寬x高： 178 x 89 x 165 cm/7 0 x 3 5 x 6 5 ”

蒸發(fā)室容量： 0.5 kg /1.1 lb

標(biāo)準(zhǔn)沉積腔容量： 35.3 升

標(biāo)準(zhǔn)沉積腔尺寸

直徑x高：35.6 x 35.6 cm / 14 x 14”

電源：220 VAC, 1Φ, 50 Hz, 50A

380 VAC, 3Φ, 50 Hz, 25A

內(nèi)置機(jī)械冷凝器系統(tǒng)及低溫探針溫度傳感器

溫度：-100°C (-166°F)

涂敷的創(chuàng)新設(shè)計(jì)

與來自SCS其它的技術(shù)一樣，PDS 2035CR 結(jié)合了精確的、可重復(fù)性的元件涂敷及科研對(duì)設(shè)備的高要求。通過蒸發(fā)沉積處理，系統(tǒng)適合于在多種表面涂敷聚合物，包括金屬、玻璃、硅、塑料、柔性材料和鐵氧體。透明Parylene 薄膜符合基材的形狀，提供了高絕緣強(qiáng)度和光滑的干膜，同時(shí)具有阻隔潮濕和溶劑的能力。在過去的30年里，Parytene 被廣泛的應(yīng)用于醫(yī)療、電子和汽車工業(yè)領(lǐng)域。無針孔和其生物相容性， Parylene涂敷是用于關(guān)鍵部件保護(hù)非常理想的選擇。PDS 2035CR可以使這種保護(hù)在清潔高效的環(huán)境中得到優(yōu)化，同時(shí)僅占用很小的寶貴的潔凈室空間。