SCS Labcoter 2 Parylene PDS 2010沉積系統，對于 Parylene 的實驗室研究、應用開發和測試而言，SCS Labcoter 2 Parylene 沉積系統(PDS 2010) 為 SCS Parylene 保形涂敷提供了可靠的和可重復的應用。便攜的 Labcoter2 可以針對電路板、傳感器、晶圓、醫療器件、MEMS 和彈性元件的研究、開發及維修進行 Parylene 涂敷。

SCS Labcoter 2 Parylene PDS 2010沉積系統Labcoter® 2 性能

? 模塊化結構

? 可更換腔體模組

? 可選擇液氮或機械制冷機

? 閉環單體壓力控制

? 持續過程監控

? 低噪音，直接驅動真空泵

? 固定旋轉架

? 可選翻轉涂敷操作

? 可選分離真空泵

Parylene 沉積過程超薄的 Parylene 涂層具有惰性和生物兼容性以及很好的防潮、防化和電介質絕緣的特性。Parylene 多聚物涂敷通過氣態沉積設備實現，允許對涂敷率和厚度做精確的控制。沉積過程首先是粉末狀的二聚物在真空和加熱下蒸發成二聚物氣體，隨后二聚物被裂解成其單體結構，最終沉積成為透明的聚合物薄膜。聚合過程在室溫下發生并且不會引入溶液、催化劑或者固化應力。Parylene 涂層的厚度可以從幾百埃到 75 微米。