愛德華EPX180NE真空泵維修保養

愛德華EPX180NE系列干泵是基于備受贊譽的IPX系列開發而成，具有更輕的重量、更小的體積和更低的功率。該泵采用了保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7×10^-5 Torr的極限壓力，廣泛應用于負載鎖、傳輸腔、PVD濺射、灰化/PR剝離等工藝中。

常見故障及維修方法

1. 泵無法啟動

故障原因 ：

- 電源故障

- 控制電路故障

- 馬達損壞

維修步驟 ：

1. 檢查電源 ：使用萬用表檢查電源電壓是否正常，確保電源連接無誤。

2. 檢查控制電路 ：檢查控制電路中的保險絲、繼電器和接線是否完好，如有損壞，更換相應的元件。

3. 檢查馬達 ：使用萬用表檢查馬達的電阻和絕緣電阻，如有異常，更換馬達。

2. 抽氣效果不佳

故障原因 ：

- 過濾器堵塞

- 密封件損壞

- 機械裝置磨損

維修步驟 ：

1. 更換過濾器 ：定期更換進氣口和排氣口的過濾器，避免雜質堵塞。

2. 檢查密封件 ：檢查泵體的密封件，如O型圈、墊片等，如有磨損或老化，更換新的密封件。

3. 檢查機械裝置 ：檢查轉子、軸承和齒輪等機械裝置的磨損情況，如有嚴重磨損，需更換相應的部件。

3. 冷卻系統故障

故障原因 ：

- 冷卻水供應不足

- 冷卻水管路堵塞

- 散熱器堵塞

維修步驟 ：

1. 檢查冷卻水供應 ：確保冷卻水的供應量和壓力符合設備要求，調整冷卻水流量和溫度。

2. 清洗冷卻水管路 ：定期清洗冷卻水管路，避免水垢和雜質堵塞。

3. 清洗散熱器 ：使用壓縮空氣或水槍清洗散熱器，確保散熱效果良好。

愛德華EPX180NE真空泵維修保養