二手蔡司場發射電鏡，蔡司SUPRA 40VP原理介紹

        掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經濟的迅速發展，高校、科研單位、企業等大量引進了場發射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對電鏡的運行狀態缺乏系統認識，經常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修，除花費時間和費用外，也造成了對電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國蔡司ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡為例，從環境條件、光學系統、真空系統及附件設施4個方面總結了熱場發射掃描電子顯微鏡運行狀態的幾種檢查方法和維護保養經驗，并結合故障實例進行了分析

查看環境條件

       掃描電子顯微鏡的使用環境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。一般情況下，環境溫度需控制在22～25℃，相對濕度以小于70%為宜，保證實驗室清潔整齊，避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾。溫濕度控制需配備空調和除濕機，特別是在南方地區一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。由于場發射掃描電子顯微鏡的分辨率較高，對震動和磁場強度的要求也較高，所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾。一般在安裝時，建議將電鏡放置在樓體一層，遠離輸電線路、大功率設備等，并做防震地基和獨立地線設置。電鏡地線要求必須是獨立地線，即接地體到接線端子均獨立，避免地線連接到公共接地體。在使用過程中，若周圍有雜散磁場，在大倍數觀察時圖像會出現縱或橫條紋干擾。總之，日常使用過程中要嚴格控制電鏡的環境條件。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例，環境條件要求如下：溫度保持在21～25℃，相對濕度小于65%，磁場強度小于3×10－7T，噪聲強度小于65dB，獨立地線的接地電阻小于0.1Ω。

檢查光學系統

（2）檢查像散情況。像散是電子光學系統中所形成的磁場或靜電場不能滿足軸對稱要求時產生的。圖像聚焦和消像散是圖片質量的重要保證。若反復聚焦后圖像仍不清晰，在欠焦和過焦時垂直方向上出現模糊并拉長的現象，則說明有像散存在，需要調節像散。正常情況下也會出現像散，可通過觀察狀態欄中的像散值查看是否處于正常狀態。若X或Y 軸的像散值小于30%，則說明像散處于正常狀態；若像散值大于30%，則說明像散處于非正常狀態。產生像散的原因是多方面的，如透鏡材料不均勻、極靴孔之間對中不好以及加工精度影響等，而電鏡在使用過程中電子通道周圍部分被污染而帶電是產生像散的主要原因。以ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡為例，其電子通道的污染會形成一個局部的靜電場，干擾電子束的正常聚焦。雖然電鏡中設置八極電磁式消像散器，可產生一個弱的校正磁場，但其作用是有限的。若電子通道污染，則需清洗光闌和其他電子束通道部位來消除像散。

檢查真空系統

二手蔡司場發射電鏡，蔡司SUPRA 40VP應用范圍

      場發射掃描電子顯微鏡，廣泛用于生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。該儀器的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力，尤其是采用新數字化圖像處理技術，提供高倍數、高分辨掃描圖像，并能即時打印或存盤輸出，是納米材料粒徑測試和形貌觀察儀器。也是研究材料結構與性能關系所重要工具。