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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐> RTP快速退火爐真空型500V

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RTP快速退火爐真空型500V

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      本所自開發RTP快速退火系列產品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發光照快速熱處理設備以來與清華,北大,浙大,半導體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進步,為華為,三安光電,中電科等半導體企業保駕護航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學,香港中文大學,香港科技大學。美國堪薩斯州立大學,美國揚斯頓州立大學和新加坡南洋理工大學也有數臺在科研教學一線。

快速退火爐,真空快速退火爐

RTP快速退火爐真空型500V
RTP快速退火爐真空型500V
性能指標 配備狀態
溫度范圍 100 – 1300 ℃
升溫速率 2  —  200 ℃/秒可調
密封石英腔內面尺寸 215 X 140X 14 毫米
樣品尺寸 4英寸
計算機控制器 CPU主頻2.1 GHz,內存2 G,硬盤1 T,19英寸液晶顯示器,Windows 10操作系統。配有AD/DA卡ISA/PCI插口,及RTP-600控制軟件。(配置以出廠前電腦配置為準,不低于上述配置)及快速熱處理編程控制軟件RTP-600的控制軟件. 可編程溫度曲線存儲1500 條以上, 每條曲線包括100段以上, 溫度設定范圍 25—1300℃ , 每段時間設定范圍1—30000 秒。數據可導出為文本文件便于數據處理。自動優化溫控。
溫度設定范圍 100-1300℃
溫度重復性 +/-1℃
測溫精確度 100-1300全溫度段精度>0.5%
測溫裝置 K型熱電偶
溫度曲線 自動記錄,保存,文本格式轉換,支持彩色分頁打印
真空系統 提供KF16接口,不銹鋼管路,極限真空度0.1Pa
1000℃連續工作時間 雙閉環溫度控制,  穩態溫度穩定性±1℃ ,1000℃連續工作>1小時
光源 1.25KW X 13 鹵鎢燈
電源 380 V  40A 三相 四線(三火線, 零線),50/60Hz
冷卻裝置 自來水或循環水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
冷卻方式 水冷,風冷,氣冷
安全裝置 過溫報警,過熱報警,過熱自動保護,水壓報警,水壓異常自動保護
機柜尺寸 定制機柜
氣體壓力控制系統 氣氛流量>2L/min 2路MFC氣路系統,真空測量系統0.1Pa-100kPa,腔室壓力可調。

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